161.一种光学临近矫正方法
发明专利 有权
分类号: G03F1/36(2012.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2014-02-12申请人：无锡华润上华半导体有限公司
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162.一种光学精密系统的对准装置
发明专利 有权
分类号: G03F9/00(2006.01)I G G03 G03F G03F9 申请日期：2014-07-30申请人：中国科学院微电子研究所
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163.一种光学系统像差补偿装置与方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-12-03申请人：中国科学院光电技术研究所
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164.一种光学系统波像差检测装置
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-12-03申请人：中国科学院光电技术研究所
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165.一种光学邻近修正的焦平面选择方法
发明专利 有权
分类号: G03F1/36(2012.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2014-03-12申请人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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166.一种光学邻近矫正装置及矫正方法
发明专利 有权
分类号: G03F1/36(2012.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2014-02-12申请人：无锡华润上华半导体有限公司
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167.一种光屏障基板的制备方法
发明专利 有权
分类号: G03F1/32(2012.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2014-06-25申请人：京东方科技集团股份有限公司 北京京东方显示技术有限公司
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168.一种光控管状电机驱动的投影幕
发明专利 有权
分类号: G03B21/58(2014.01)I G G03 G03B G03B21 申请日期：2014-11-12申请人：浙江湖州森富机电有限责任公司
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169.一种光控管状电机驱动的投影幕
实用新型 有权
分类号: G03B21/58(2014.01)I G G03 G03B G03B21 申请日期：2014-11-05申请人：浙江湖州森富机电有限责任公司
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170.一种光机及电子装置
实用新型 有权
分类号: G03B21/20(2006.01)I G G03 G03B G03B21 申请日期：2014-01-01申请人：深圳市长江力伟股份有限公司
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171.一种光机引擎固定调整装置
实用新型 有权
分类号: G03B21/14(2006.01)I G G03 G03B G03B21 申请日期：2014-07-30申请人：山东山大华特科技股份有限公司
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172.一种光流体微纳器件动态加工装置
实用新型 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-11-12申请人：高秀敏
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173.一种光源系统、波长转换装置及相关投影系统
发明专利 有权
分类号: G03B21/20(2006.01)I G G03 G03B G03B21 申请日期：2014-05-07申请人：深圳市绎立锐光科技开发有限公司
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174.一种光瞳面光强分布的测量方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-08-27申请人：上海微电子装备有限公司
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175.一种光罩人工擦拭装置
实用新型 无权
分类号: G03F1/82(2012.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2014-01-08申请人：彩虹（佛山）平板显示有限公司
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176.一种光罩定位装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-09-03申请人：上海华力微电子有限公司
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177.一种光罩托架推拉翻转机构
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-07-09申请人：保定来福光电科技有限公司
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178.一种光罩支架自动调平机构
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-07-09申请人：保定来福光电科技有限公司
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179.一种光罩支架调平机构
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-05-14申请人：保定来福光电科技有限公司
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180.一种光罩支架调平机构
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-07-09申请人：保定来福光电科技有限公司
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