一种光瞳面光强分布的测量方法

摘要：

本发明提出一种照明光瞳面光强分布的测量方法，通过使用面阵传感器获取多幅反映光瞳形貌的图像，并通过建立合理的传感器模型、迭代计算得到一幅相对精确的光瞳面光强分布图像，最后计算出光瞳参数。本测量方法可以在较短的测量时间内达到较高的测量精度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310055717.1

申请日期：2013-02-21

公开/公告号：CN104007619A

公开/公告日：2014-08-27

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:葛亮;马明英

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人:王光辉

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种光瞳面光强分布的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括如下步骤：步骤一：设置需要探测的照明模式，激光器打光，照明光经过掩模和透镜，离焦后照射到面阵传感器表面；步骤二：移动面阵传感器以确保照明光斑落于面阵传感器中心；步骤三：调整掩模位置，使得照明光照射到掩模铬区；步骤四：面阵传感器采集照明背景光；步骤五：调整掩模位置，使得照明光照射到掩模的小孔标记上；步骤六：面阵传感器采集照明光，获得反映光瞳面光强分布的图像；步骤七：在两次采集的间隔内，消除照明背景光产生的误差并对采集结果进行迭代计算，根据计算结果重新返回步骤六，直到计算结果与理想光瞳的偏差满足要求，获得反映光瞳面光强分布的图像；步骤八：根据计算结果计算光瞳参数。