一种光罩托架推拉翻转机构

摘要：

本实用新型公开了一种光罩托架推拉翻转机构，包括光罩托架、左侧滑轨和右侧滑轨，所述左侧滑轨和右侧滑轨经铰链铰接在曝光机主机架上，在左侧滑轨和右侧滑轨上分别水平安装有左滚轮组和右滚轮组，光罩托架从曝光机主机架内抽出后左右边框分别托在左滚轮组和右滚轮组上并可自由滑动，在左侧滑轨的侧壁上安装有左分割定位柱，在右侧滑轨的侧壁上安装有右分割定位柱，在光罩托架的左右边框上分别相应安装有左柱套和右柱套。该机构能够将光照托架拉出并进行翻转，便于清理检查，方便安放光罩。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420034098.8

申请日期：2014-01-21

公开/公告号：CN203705820U

公开/公告日：2014-07-09

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:保定来福光电科技有限公司

发明/设计人:张惠光

主申请人地址:071700 河北省保定市容城县容城城东开发区容津路3号

专利代理机构:北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人:汤东凤

国别省市代码:河北;13

权利要求：

一种光罩托架推拉翻转机构，包括光罩托架、左侧滑轨和右侧滑轨，其特征在于，所述左侧滑轨和右侧滑轨经铰链铰接在曝光机主机架上，在左侧滑轨和右侧滑轨上分别水平安装有左滚轮组和右滚轮组，光罩托架从曝光机主机架内抽出后左右边框分别托在左滚轮组和右滚轮组上并可自由滑动，在左侧滑轨的侧壁上安装有左分割定位柱，在右侧滑轨的侧壁上安装有右分割定位柱，在光罩托架的左右边框上分别相应安装有左柱套和右柱套。