一种光学系统波像差检测装置

摘要：

本发明公开了一种光学系统波像差检测装置，该光学系统波像差检测装置中照明模块将光源发出的光线均匀投射至光学系统物面上。针孔阵列位于光学系统的物面位置，具有空间扩展和空间分割的作用。剪切光栅安装在光学系统的像面位置。通过精动台带动剪切光栅进行横向移动，实现相移功能。利用准直光学镜组，将携带光学系统波像差信息的同心球面波剪切转换为平面波剪切。利用探测器记录相移过程中的剪切干涉图光场信息。本发明使用针孔阵列提高了检测系统光能；利用光栅实现剪切干涉。通过光栅横向移动进行相移；利用准直光学镜组将球面干涉转换为平面干涉，消除了平面探测器接收球面干涉的误差；实现了光学系统波像差的高精度检测。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410454177.9

申请日期：2014-09-05

公开/公告号：CN104181779A

公开/公告日：2014-12-03

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院光电技术研究所

发明/设计人:吕保斌;邢延文;林妩媚;刘志祥

主申请人地址:610209 四川省成都市双流350信箱

专利代理机构:北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人:杨学明%顾炜

国别省市代码:四川;51

权利要求：

一种光学系统波像差检测装置，其特征在于，该装置包括：光源模块(100)、照明模块(101)、针孔阵列模块(102)、被测光学系统(103)、光栅模块(104)、剪切干涉模块(105)、控制模块(106)和数据处理模块(107)；光源模块(100)发出的光依次经过针孔阵列模块(102)、被测光学系统(103)、光栅模块(104)、剪切干涉模块(105)，控制模块(106)控制针孔阵列模块(102)和光栅模块(104)，控制模块(106)还接收剪切干涉模块(105)的探测数据，控制模块(106)将该探测数据传送至数据处理模块(107)进行处理。