一种光学精密系统的对准装置

摘要：

本发明公开了一种光学精密系统的对准装置，涉及精密仪器技术领域，其中，本发明通过在第一物体上设置第一对准标记，在第二物体上设置第二对准标记，利用照明系统给所述第一物体上的第一对准标记提供照明，利用成像系统将第一物体上的第一对准标记成像在第二物体表面后形成第三对准标记，且第二对准标记及第三对准标记在第二物体表面重叠后形成第一图像。进而利用观测系统中的成像模块、聚束模块将包含多组、离散分布的对准标记的第一图像会聚后，形成第二图像，由单个探测模块和处理模块接收、处理，实现多通道对准标记实时、统一显示和调整，从而实现第一物体和第二物体的位置精确对准。达到了对准精度高、操作便捷的技术效果。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410185976.0

申请日期：2014-05-05

公开/公告号：CN103955124A

公开/公告日：2014-07-30

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院微电子研究所

发明/设计人:宗明成;王丹;黄有为;李世光;孙裕文

主申请人地址:100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所

专利代理机构:北京华沛德权律师事务所 11302

代理人:刘杰

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种光学精密系统的对准装置，用于所述光学精密系统中的第一物体和第二物体间的位置对准，其中，所述第一物体上设有第一对准标记，所述第二物体上设有第二对准标记，其中，所述装置包括： 照明系统，所述照明系统配置于所述第一物体前面，用于照明所述第一物体上的第一对准标记； 成像系统，所述成像系统配置于所述第一物体和第二物体之间，用于将所述第一物体上的第一对准标记成像在所述第二物体上；其中，所述第一对准标记在所述第二物体上的成像为第三对准标记； 观测系统，所述观测系统配置于所述第二物体后面，用于观测所述第二物体上的第二对准标记和所述第三对准标记构成的第一图像。