一种光罩支架自动调平机构

摘要：

本实用新型公开了一种光罩支架自动调平机构，包括四边形基座和光罩支架，光罩支架位于四边形基座上表面，在四边形基座的三条边框下方安装有伺服电机和支撑底座，伺服电机的输出轴固定套接于偏心轴的一端，偏心轴中部外侧套接有第一轴承和第二轴承，偏心轴另一端固定在第三轴承上，第三轴承固定在支撑底座上，顶块一端顶托在所述第一轴承上，另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上，第二轴承上方安装有连接轴，连接轴与定位弹簧一端相连，定位弹簧另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上。该机构能够自动对光罩支架进行调平，操作简单方便。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420034097.3

申请日期：2014-01-21

公开/公告号：CN203705819U

公开/公告日：2014-07-09

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:保定来福光电科技有限公司

发明/设计人:张惠光

主申请人地址:071700 河北省保定市容城县容城城东开发区容津路3号

专利代理机构:北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人:汤东凤

国别省市代码:河北;13

权利要求：

一种光罩支架自动调平机构，包括四边形基座和光罩支架，光罩支架位于四边形基座上表面，其特征在于，在四边形基座的三条边框下方安装有伺服电机和支撑底座，伺服电机的输出轴固定套接于偏心轴的一端，偏心轴中部外侧套接有第一轴承和第二轴承，偏心轴另一端固定在第三轴承上，第三轴承固定在支撑底座上，顶块一端顶托在所述第一轴承上，另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上，第二轴承上方安装有连接轴，连接轴与定位弹簧一端相连，定位弹簧另一端穿过四边形底座固定在光罩支架上。