一种光罩支架调平机构
本发明公开了一种光罩支架调平机构,包括四边形基座和光罩支架,四边形基座的四角上设有通孔,每个通孔上方设有支撑框,支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成,支撑框的上盖底部呈凸球面形,所述光罩支架四角均向上安装有连杆,每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内,每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合,在上盖上设有螺钉通孔,在连杆端部均设有螺孔,自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉,所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。该机构能够对光罩支架进行悬浮调平,调平时光罩支架不滑动,调平后容易固定,整个操作过程轻松快捷。
发明专利
CN201410034588.2
2014-01-25
CN103792796A
2014-05-14
G03F7/20(2006.01)I
保定来福光电科技有限公司
张惠光
071700 河北省保定市容城县容城城东开发区容津路3号
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
汤东凤
河北;13
一种光罩支架调平机构,包括四边形基座和光罩支架,其特征在于,四边形基座的四角上设有通孔,每个通孔上方设有支撑框,支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成,支撑框的上盖底部呈凸球面形,所述光罩支架四角均向上安装有连杆,每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内,每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合,在上盖上设有螺钉通孔,在连杆端部均设有螺孔,自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉,所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。