一种光学邻近矫正装置及矫正方法

摘要：

一种光学邻近矫正装置和矫正方法，通过在现有的矫正装置中加入图形预处理模块，对关键器件图形和虚拟器件图形进行叠加处理，并判断出是否存在重叠错误，从而避免了现有技术中由于该重叠错误的判断程序而导致的光刻版错误或报废问题，大大节省了工艺时间，降低了工艺成本。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210261737.X

申请日期：2012-07-26

公开/公告号：CN103576442A

公开/公告日：2014-02-12

主分类号：G03F1/36(2012.01)I

申请/专利权人:无锡华润上华半导体有限公司

发明/设计人:陈洁;王谨恒;万金垠;张雷

主申请人地址:214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号

专利代理机构:北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人:常亮

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种光学邻近效应矫正装置，其特征在于：所述光学邻近效应矫正装置包括一图形预处理模块，该图形预处理模块包括图形叠加单元、输出单元和判断单元，所述图形叠加单元对一关键器件图形和一虚拟器件图形进行叠加并将叠加图形通过所述输出单元输出给所述判断单元。