一种光罩支架调平机构

摘要：

本实用新型公开了一种光罩支架调平机构，包括四边形基座和光罩支架，四边形基座的四角上设有通孔，每个通孔上方设有支撑框，支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成，支撑框的上盖底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安装有连杆，每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内，每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合，在上盖上设有螺钉通孔，在连杆端部均设有螺孔，自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉，所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。该机构能够对光罩支架进行悬浮调平，调平时光罩支架不滑动，调平后容易固定，整个操作过程轻松快捷。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420046395.4

申请日期：2014-01-25

公开/公告号：CN203705821U

公开/公告日：2014-07-09

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:保定来福光电科技有限公司

发明/设计人:张惠光

主申请人地址:071700 河北省保定市容城县容城城东开发区容津路3号

专利代理机构:北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人:汤东凤

国别省市代码:河北;13

权利要求：

一种光罩支架调平机构，包括四边形基座和光罩支架，其特征在于，四边形基座的四角上设有通孔，每个通孔上方设有支撑框，支撑框由上盖和支撑上盖的侧壁组成，支撑框的上盖底部呈凸球面形，所述光罩支架四角均向上安装有连杆，每个连杆穿过四边形基座上相应的通孔而将端部伸入支撑框内，每个连杆端部呈凹球面形并与所述上盖底部的凸球面形相贴合，在上盖上设有螺钉通孔，在连杆端部均设有螺孔，自上盖经螺钉通孔向连杆端部的螺孔内穿有螺钉，所述螺钉通孔的直径大于所述螺钉的直径。