一种光罩人工擦拭装置

摘要：

本实用新型公开了一种光罩人工擦拭装置，包括支撑架，支撑架上设置有与光罩尺寸相匹配的旋转平台，旋转平台通过支撑旋转轴承安装在支撑架上；旋转平台的两侧设置有用于照亮旋转平台上的光罩的两个表面检查灯。本实用新型的旋转台的尺寸与光罩的尺寸相匹配，光罩能够准确卡在旋转台上，擦拭时不会前后左右移动；另外，旋转平台通过支撑旋转轴承能在支撑架旋转任意角度，保证能够看到光罩上面任何一点的异物；最后，旋转平台的两边各有一台灯头可任意转动的表面检查灯，以达到所需要照射的角度；本实用新型结构简单，成本低，完全适用于在小型生产线或实验室内对光罩的人工擦拭。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201320366113.4

申请日期：2013-06-24

公开/公告号：CN203385992U

公开/公告日：2014-01-08

主分类号：G03F1/82(2012.01)I

申请/专利权人:彩虹（佛山）平板显示有限公司

发明/设计人:丁和平

主申请人地址:528300 广东省佛山市顺德区大良街道五沙新悦路13号

专利代理机构:西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人:蔡和平

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种光罩人工擦拭装置，其特征在于：包括支撑架（1），支撑架（1）上设置有与光罩尺寸相匹配的旋转平台（5），旋转平台（5）通过支撑旋转轴承（6）安装在支撑架（1）上；旋转平台（5）的两侧设置有用于照亮旋转平台（5）上的光罩的两个表面检查灯（2）。