一种光罩定位装置

摘要：

一种光罩定位装置，应用于光罩盒的底盘上，包括若干个缓冲定位装置，所述缓冲定位装置为八边形结构，所述八边形结构内部设置有一弹性装置；其中，当光罩盒盖上所述底盘时，所述缓冲定位装置由于受到挤压而侧壁接触光罩，使其垂直接触光罩侧面，以定位所述光罩。当运用该定位装置后，可以借助于弹性八边形的特性达到光罩精确定位的目的，且该八边形运动件垂直接触光罩侧面，无摩擦现象，避免产生微尘，当光照在盒子内时，位置固定，避免了滑动震动现象的发生。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410163820.2

申请日期：2014-04-22

公开/公告号：CN104020644A

公开/公告日：2014-09-03

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海华力微电子有限公司

发明/设计人:宣胤杰

主申请人地址:201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

专利代理机构:上海申新律师事务所 31272

代理人:吴俊

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种光罩定位装置，应用于光罩盒的底盘上，其特征在于：包括若干个缓冲定位装置，每个所述缓冲定位装置均为八边形结构，每个所述八边形结构内部均设置有一弹性装置；其中，当光罩盒盖于所述底盘上时，所述缓冲定位装置由于受到挤压而侧壁接触光罩，使其垂直接触光罩侧面，以定位所述光罩。