141.一种光刻机投影物镜波像差的测量方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-03-05申请人：华中科技大学
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142.一种光刻机水平测量装置及测量方法
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-05-21申请人：上海微电子装备有限公司
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143.一种光刻机的掩膜版降温装置
实用新型 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-07-30申请人：长沙创芯集成电路有限公司
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144.一种光刻版组件及检测光刻对准精度的方法
发明专利 有权
分类号: G03F1/42(2012.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2014-06-18申请人：上海空间电源研究所
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146.一种光刻胶做厚的方法
发明专利 无权
分类号: G03F7/16(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-06-04申请人：无锡华润上华科技有限公司
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147.一种光刻胶及其制作方法、使用方法
发明专利 无权
分类号: G03F7/075(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-07-23申请人：京东方科技集团股份有限公司
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148.一种光刻胶水基硅片清洗液及其制备方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-02-26申请人：合肥中南光电有限公司
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149.一种光刻胶涂布及回收装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/16(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-11-19申请人：四川虹视显示技术有限公司
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150.一种光刻胶的去除方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-08-06申请人：京东方科技集团股份有限公司
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151.一种光刻胶离心涂布机用卡盘
实用新型 无权
分类号: G03F7/16(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-04-02申请人：元茂光电科技（武汉）有限公司
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152.一种光刻胶组合物
发明专利 有权
分类号: G03F7/027(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-05-14申请人：京东方科技集团股份有限公司
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153.一种光刻设备垂向动态曝光方法及装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-09-24申请人：上海微电子装备有限公司
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154.一种光刻设备对准系统
发明专利 有权
分类号: G03F9/00(2006.01)I G G03 G03F G03F9 申请日期：2014-09-24申请人：上海微电子装备有限公司 上海微高精密机械工程有限公司
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155.一种光刻试运行中曝光能量参数的预测方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-04-02申请人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
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156.一种光固化丝网印刷感光胶的制备方法和使用方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/004(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-04-30申请人：浙江荣生科技有限公司
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157.一种光固化以及热固化树脂组合物
发明专利 有权
分类号: G03F7/004(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-02-12申请人：上海孚赛特新材料股份有限公司
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158.一种光固化以及热固化树脂组合物
发明专利 有权
分类号: G03F7/027(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-02-12申请人：上海孚赛特新材料股份有限公司
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159.一种光固化树脂组合物
发明专利 有权
分类号: G03F7/032(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2014-07-02申请人：长兴电子（苏州）有限公司 常州强力电子新材料股份有限公司 长兴（广州）电子材料有限公司
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160.一种光圈调节装置
实用新型 有权
分类号: G03B9/06(2006.01)I G G03 G03B G03B9 申请日期：2014-07-02申请人：中山联合光电科技有限公司
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