一种光刻的前烘工艺

摘要：

本发明涉及一种光刻的前烘工艺，其特征在于，所述工艺方法如下：正胶—在温度设置为98℃烘箱中烘烤20分钟；负胶—温度设置为95℃平板加热器1分钟。本工艺在甩胶后增加前烘工艺，能够有效的去除胶膜中的溶剂，增加胶膜的耐磨性、黏附性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210457898.6

申请日期：2012-11-15

公开/公告号：CN103809391A

公开/公告日：2014-05-21

主分类号：G03F7/38(2006.01)I

申请/专利权人:张恒

发明/设计人:张恒

主申请人地址:264003 山东省烟台市莱山区清泉路30-256号

专利代理机构:北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人:王澎

国别省市代码:山东;37

权利要求：

一种光刻的前烘工艺，其特征在于，所述工艺方法如下：正胶—在温度设置为98℃烘箱中烘烤20分钟；负胶—温度设置为95℃平板加热器1分钟。