一种光刻机水平测量装置及测量方法

摘要：

本发明提供了一种光刻机水平测量装置，包括：容器瓶，所述容器瓶中装有液体；容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上设有通孔；柔性导管，所述柔性导管通过所述通孔从所述容器塞中引出；所述柔性导管中有液柱；导管塞，所述导管塞设于所述柔性导管的引出端的尾部；测量装置，所述测量装置设于所述柔性导管的引出端。本发明方便用于TFT光刻机安装时的支撑脚的垂向高度差的测量，并根据支撑脚的垂向高度差对支撑脚作水平调整，测量工作简单易行，操作方便，测量精度高。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201210451764.3

申请日期：2012-11-12

公开/公告号：CN103809383A

公开/公告日：2014-05-21

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:王天明

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种光刻机水平测量装置，其特征在于，包括：容器瓶，所述容器瓶中装有液体；容器塞，所述容器塞嵌入所述容器瓶的瓶口，所述容器塞上设有通孔；柔性导管，所述柔性导管通过所述通孔从所述容器塞中引出；所述柔性导管中充有连续的液体；导管塞，所述导管塞设于所述柔性导管的引出端的尾部；测量装置，所述测量装置设于所述柔性导管的引出端。