一种光刻胶组合物
本发明公开了一种光刻胶组合物,按重量份计,包括:聚醚改性的有机硅流平剂580.1-1.0份,多官能基单体7-23份;碱可溶树脂13-29份;颜料分散体23-62.8份;光引发剂1.5-11.9%;溶剂10-45%。这种光刻胶组合物能够解决现有光刻胶组合物涂膜流平性不好,在高温后烘后,膜层表面收缩的问题。
发明专利
CN201410040176.X
2014-01-27
CN103792789A
2014-05-14
G03F7/027(2006.01)I
京东方科技集团股份有限公司
王雪岚
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
李迪
北京;11
一种光刻胶组合物,按重量份计,包括:聚醚改性的有机硅流平剂580.1‑1.0份,多官能基单体7‑23份;碱可溶树脂13‑29份;颜料分散体23‑62.8份;光引发剂1.5‑11.9份;溶剂10‑45份。