一种光刻设备对准系统
本发明提出一种光刻设备对准系统，包括照明支路以及相干成像支路，其特征在于：所述照明支路包括双光源、光源混合器、光纤、消色差准直透镜、偏振分束器、照明透镜和对准标记；所述相干成像支路包括第一光束支路和第二光束支路，第一光束支路和第二光束支路都包括楔板、成像透镜、参考光栅以及探测器，衍射光中的第一光束返回偏振分束器后直接透过，经楔板偏折、成像透镜成像在参考光栅上，探测器接收扫描信号进行对准，衍射光中的第二光束返回偏振分束器后被反射从而与第一光束分离，再经楔板偏折、成像透镜成像在参考光栅上，探测器接收扫描信号进行对准。本发明将两束进光混合成一束光束且同轴照明标记，消除两束光之间的相对倾斜。不仅简化了系统，且提高了对准精度和工艺适应性。
发明专利
CN201310090951.8
2013-03-21
CN104062859A
2014-09-24
G03F9/00(2006.01)I
上海微电子装备有限公司%上海微高精密机械工程有限公司
蓝科;李运锋;徐荣伟;王诗华
201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
北京连和连知识产权代理有限公司 11278
王光辉
上海;31
一种光刻设备对准系统，包括照明支路以及相干成像支路，其特征在于：所述照明支路包括双光源、光源混合器、光纤、消色差准直透镜、偏振分束器、照明透镜和对准标记，双光源分别发出偏振态相互垂直的第一光束和第二光束，两束光经过光源混合器进行合光，再经过光纤和消色差准直透镜准直后形成同轴照明光束，同轴照明光束经过小棱镜反射后进入照明透镜，再照射到对准标记形成衍射光，衍射光返回偏振分束器；所述相干成像支路包括第一光束支路和第二光束支路，第一光束支路和第二光束支路都包括楔板、成像透镜、参考光栅以及探测器，衍射光中的第一光束返回偏振分束器后直接透过，经楔板偏折、成像透镜成像在参考光栅上，探测器接收扫描信号进行对准，衍射光中的第二光束返回偏振分束器后被反射从而与第一光束分离，再经楔板偏折、成像透镜成像在参考光栅上，探测器接收扫描信号进行对准。