一种光刻胶离心涂布机用卡盘

摘要：

本实用新型提出一种光刻胶离心涂布机用卡盘，包括卡盘本体1、吸嘴3，所述卡盘本体具有卡盘真空通道2，所述吸嘴具有吸嘴真空通道32；所述吸嘴设置在所述卡盘本体上，所述吸嘴真空通道与所述卡盘真空通道相通；所述吸嘴还设置有吸盘31，所述吸盘具有凹面，所述凹面与所述吸嘴真空通道相通。由于设置了凹面吸嘴，与AlGaAs外延片的弧形可以紧密地配合，从而保证了卡盘内的真空度，确保卡盘本体旋转时AlGaAs外延片不会被甩出去造成产品损失。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201320620146.7

申请日期：2013-10-09

公开/公告号：CN203520010U

公开/公告日：2014-04-02

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:元茂光电科技（武汉）有限公司

发明/设计人:胡泰祥

主申请人地址:430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区滨湖路6号

专利代理机构:北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人:张大威

国别省市代码:湖北;42

权利要求：

一种光刻胶离心涂布机用卡盘，其特征在于，包括卡盘本体（1）、吸嘴（3），所述卡盘本体具有卡盘真空通道（2），所述吸嘴具有吸嘴真空通道（32）；所述吸嘴设置在所述卡盘本体上，所述吸嘴真空通道与所述卡盘真空通道相通；所述吸嘴还设置有吸盘（31），所述吸盘具有凹面，所述凹面与所述吸嘴真空通道相通。