一种光刻胶涂布及回收装置

摘要：

本发明公开了一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7，其特征在于：还包括旋转阀门3；所述旋转阀门3通过光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连；所述旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5相连；所述旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相连；所述动力装置7同时与旋转阀门3和光刻胶抽取装置4相连；所述旋转阀门3包括旋转阀芯3.1和旋转阀门内壳3.3，所述转阀芯3.1旋转一定角度后，设置于其上的通孔将光刻胶容器1和光刻胶抽取装置4连通，所述转阀芯3.1旋转另一角度后，设置于其上的通孔将光刻胶抽取装置4和涂布刮刀5连通。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410350544.0

申请日期：2014-07-22

公开/公告号：CN104155848A

公开/公告日：2014-11-19

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:四川虹视显示技术有限公司

发明/设计人:杨海浪;魏锋;禹浩荣

主申请人地址:611731 四川省成都市高新区(西区)科新西街168号

专利代理机构:成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227

代理人:周永宏

国别省市代码:四川;51

权利要求：

一种光刻胶涂布及回收装置，包括光刻胶容器(1)、光刻胶传输管(2)、光刻胶抽取装置(4)、涂布刮刀(5)、涂布刮刀传输管(6)和动力装置(7)，其特征在于：还包括旋转阀门(3)；所述旋转阀门(3)通过光刻胶传输管(2)与光刻胶容器(1)相连；所述旋转阀门(3)通过涂布刮刀传输管(6)与涂布刮刀(5)相连；所述旋转阀门(3)通过螺纹与光刻胶抽取装置(4)相连；所述动力装置(7)同时与旋转阀门(3)和光刻胶抽取装置(4)相连。