101.一种光刻对准方法、装置、电子设备及存储介质
发明专利 在审
分类号: G03F9/00(2006.01) G G03 G03F G03F9 申请日期：2024-07-25申请人：北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
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102.一种光刻拼接偏移量测量结构及其形成方法、光刻拼接偏移量测量方法
发明专利 在审
分类号: G03F9/00(2006.01) G G03 G03F G03F9 申请日期：2024-07-15申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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103.一种光刻拼接偏移量测量结构及其形成方法、光刻拼接偏移量测量方法
发明专利 在审
分类号: G03F9/00(2006.01) G G03 G03F G03F9 申请日期：2024-07-15申请人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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104.一种光刻掩模的应用工装及紫外设备
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-02-23申请人：浙江华帅特新材料科技有限公司
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105.一种光刻机三工位双工件台
发明专利 在审
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-07-25申请人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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106.一种光刻机光源头组件
发明专利 在审
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-07-18申请人：张家港奇点光电科技有限公司
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107.一种光刻机匹配快速计算方法、匹配系统及计算机设备
发明专利 在审
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-01-16申请人：深圳晶源信息技术有限公司
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108.一种光刻机工艺菜单远程控制系统
发明专利 在审
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-03-01申请人：上海健照半导体科技有限公司
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109.一种光刻机整平装置
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-01-02申请人：安徽国芯智能装备有限公司
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110.一种光刻机晶圆制造过程中的晶圆台除尘方法
发明专利 在审
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-02-02申请人：成都高真科技有限公司
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111.一种光刻机版图对位标记方法
发明专利 在审
分类号: G03F9/00(2006.01) G G03 G03F G03F9 申请日期：2024-01-05申请人：扬州扬杰电子科技股份有限公司
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112.一种光刻机用晶圆片匀胶装置
实用新型 有权
分类号: G03F7/16(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-01-02申请人：上海讯颖电子科技有限公司
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113.一种光刻机用防护镜头座
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-07-15申请人：精技精密部件(南通)有限公司
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114.一种光刻机的可调节吸盘
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-02-23申请人：郑州雷神光电技术研究院有限公司
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115.一种光刻机的表面处理系统及方法
发明专利 在审
分类号: G03F7/16(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-01-30申请人：中山新诺科技股份有限公司
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116.一种光刻机相机位置调节机构
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-07-18申请人：杭州芯微影半导体有限公司
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117.一种光刻机精细匹配的优化方法、系统及存储介质
发明专利 在审
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-01-05申请人：东方晶源微电子科技(上海)有限公司
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118.一种光刻机自动定位工装
实用新型 有权
分类号: G03F9/00(2006.01) G G03 G03F G03F9 申请日期：2024-07-22申请人：摩泰金属科技(常州)有限公司
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119.一种光刻机镜头保护装置
实用新型 有权
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-01-02申请人：安徽国芯智能装备有限公司
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120.一种光刻标记分布式仿真计算的方法、设备和程序
发明专利 在审
分类号: G03F7/20(2006.01) G G03 G03F G03F7 申请日期：2024-07-15申请人：北京超弦存储器研究院 中国科学院微电子研究所
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