一种光刻机整平装置
本实用新型公开了一种光刻机整平装置，涉及光刻机工装领域，包括可承载硅片移动的承载板，所述承载板的前、后两端均设置有可调节位置的压平杆，所述压平杆的底部呈圆弧状，用于贴合硅片的工艺边，所述压平杆上可拆卸安装有控制板，所述控制板的底部向下弯折形成联动臂，所述联动臂的下方通过转轴连接有顶升臂，位于两侧的所述顶升臂通过同步驱动单元相连接，本实用新型通过压平杆对硅片的压力抵紧，能够减少硅片边缘处地翘起现象，提高硅片的平整度，有效减少光刻机光学系统工作时的误差，进一步提高了硅片加工时的精度。压平杆与硅片工艺边的接触面呈圆弧状，可有效避免压平杆与工艺边接触时产生压痕，保障了硅片的加工质量。
实用新型
CN202321906038.6
2023-07-19
CN220290030U
2024-01-02
G03F7/20(2006.01)
安徽国芯智能装备有限公司
薛业保;章广飞;王运钢;李文静
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朱波
安徽;34
1.一种光刻机整平装置，包括可承载硅片移动的承载板(1)，其特征在于：所述承载板(1)的前、后两端均设置有可调节位置的压平杆(11)，所述压平杆(11)的底部呈圆弧状，用于贴合硅片的工艺边； 所述压平杆(11)上可拆卸安装有控制板(2)，所述控制板(2)的底部向下弯折形成联动臂(21)，所述联动臂(21)的下方通过转轴连接有顶升臂(3)，位于两侧的所述顶升臂(3)通过同步驱动单元相连接，用于控制所述顶升臂(3)、联动臂(21)、控制板(2)以及压平杆(11)同步活动，直至所述压平杆(11)与硅片相抵。 2.根据权利要求1所述的光刻机整平装置，其特征在于：所述同步驱动单元包括有分别通过转轴连接与顶升臂(3)底部的随动臂(4)，所述随动臂(4)与承载板(1)相平行，一对所述随动臂(4)上拆卸式连接有同一个对位板(5)。 3.根据权利要求2所述的光刻机整平装置，其特征在于：所述同步驱动单元还包括有安装于承载板(1)底部的气缸(6)，所述气缸(6)的推杆与对位板(5)的中心处相连接。 4.根据权利要求1所述的光刻机整平装置，其特征在于：所述压平杆(11)的表面且靠上方开设有限位凹槽(12)，所述控制板(2)的顶端延伸至限位凹槽(12)的内部，且压平杆(11)的端部设置有对位螺栓(13)，所述对位螺栓(13)延伸至限位凹槽(12)的内壁与控制板(2)相连接。 5.根据权利要求1所述的光刻机整平装置，其特征在于：所述控制板(2)与联动臂(21)的弯折部位贯穿设置有限位转轴(22)，所述承载板(1)的侧面均拆卸式连接有对位杆(23)，所述对位杆(23)呈L状结构，且对位杆(23)的端部设置有转动螺套(24)，所述转动螺套(24)与限位转轴(22)的端部相连接。 6.根据权利要求2所述的光刻机整平装置，其特征在于：所述承载板(1)的底端拆卸式连接有导向轨道(7)，所述随动臂(4)上开设有可容纳导向轨道(7)穿过的间隙，且随动臂(4)的间隙内侧壁上沿着承载板(1)方向形成滑移块(8)，当所述随动臂(4)向上滑动时，所述滑移块(8)沿着导向轨道(7)方向同步滑动。