一种光刻机的表面处理系统及方法
本发明公开了一种光刻机的表面处理系统及方法，系统包括：喷涂机构，用于在衬底上按图案数据进行数字化局部喷墨；图案定位模块，用于采集的图案位置数据；数字化曝光模组，用于按照图案位置数据对目标图案进行精准数字曝光；图案数据转换器，用于将目标图案转换成图案数据；处理器，用于控制数字化曝光模组的曝光作业。本方案利用图案数据转换器与喷涂机构实施数字化局部喷墨，能够节省油墨材料，进而降低材料成本的同时提升了产能；凭借图案定位模块采集数字化喷墨后的图案位置数据，便于数字化曝光模组与图案的定位并对目标图案实施精准数字曝光，解决了图案边缘毛糙的问题，大幅度提升了产品边缘的锐利度。
发明专利
CN202311422606.X
2023-10-30
CN117471855A
2024-01-30
G03F7/16(2006.01)
中山新诺科技股份有限公司
陈超;零萍;涂先勤;陈锡媛
528400 广东省中山市火炬开发区明珠路3号之一
广州嘉权专利商标事务所有限公司
伍传松
广东;44
1.一种光刻机的表面处理系统，其特征在于，包括： 喷涂机构(100)，用于在衬底上按设定的图案数据进行数字化局部喷墨； 图案定位模块(200)，用于采集数字化喷墨后的图案位置数据； 数字化曝光模组(300)，用于按照所述图案位置数据对目标图案进行精准数字曝光； 图案数据转换器(400)，其输出端分别与所述喷涂机构(100)、图案定位模块(200)、数字化曝光模组(300)通过数据线连接，用于将目标图案转换成所述图案数据进行输出； 处理器(500)，分别与所述喷涂机构(100)、图案定位模块(200)、数字化曝光模组(300)、图案数据转换器(400)通信连接，用于控制所述喷涂机构(100)和图案数据转换器(400)的工作，以及根据所述图案定位模块(200)反馈的图案位置数据并结合所述图案数据控制数字化曝光模组(300)的曝光作业。 2.根据权利要求1所述的一种光刻机的表面处理系统，其特征在于：所述数字化曝光模组(300)包括曝光光源(310)、透镜模组(320)、图案控制器(330)、数字微镜阵列(340)、投影模组(350)，所述曝光光源(310)、透镜模组(320)、数字微镜阵列(340)、投影模组(350)沿投影光路依次设置，所述曝光光源(310)与所述处理器(500)通信连接，所述图案控制器(330)分别与所述图案数据转换器(400)、数字微镜阵列(340)连接以用于根据所述图案数据控制所述数字微镜阵列(340)的动作。 3.根据权利要求1所述的一种光刻机的表面处理系统，其特征在于：还包括可移动平台(600)，与所述处理器(500)通信连接，用于带动所述衬底在所述喷涂机构(100)、数字化曝光模组(300)的工作平面移动。 4.根据权利要求3所述的一种光刻机的表面处理系统，其特征在于：所述可移动平台(600)上还设置有真空吸附模块(610)，与所述处理器(500)通信连接，用于将所述衬底吸附于所述可移动平台(600)。 5.根据权利要求1所述的一种光刻机的表面处理系统，其特征在于：还包括与所述处理器(500)通信连接的温度调节模块(700)，所述温度调节模块(700)用于调节所述表面处理系统内的工作环境温度。 6.根据权利要求1所述的一种光刻机的表面处理系统，其特征在于：还包括与所述处理器(500)通信连接的显控组件(800)，所述显控组件(800)用于接受用户指令，展示设备状态、信息。 7.根据权利要求1所述的一种光刻机的表面处理系统，其特征在于：还包括电控箱(900)，用于为所述表面处理系统的各个模块分配电源。 8.一种光刻机的表面处理方法，其特征在于：应用于权利要求1至7任一所述的一种光刻机的表面处理系统，包括以下步骤 由图案数据转换器(400)将目标图案转换成图案数据并分别输出给喷涂机构(100)、图案定位模块(200)、数字化曝光模组(300)； 处理器(500)控制喷涂机构(100)在衬底上按设定的所述图案数据进行数字化局部喷墨； 图案定位模块(200)采集数字化喷墨后的图案位置数据并反馈给处理器(500)； 处理器(500)根据所述图案位置数据控制数字化曝光模组(300)与衬底上的图案对位，并按照所述图案数据对所述图案进行精准数字曝光。