一种光刻掩模的应用工装及紫外设备
本申请公开了一种光刻掩模的应用工装及紫外设备，包括基板、挡板、掩模以及容器，挡板插设在基板上，掩模可插拔地设置在挡板上，容器设置在基板上并与掩模对应设置，容器用于盛放光刻材料，掩模包括图案层以及衬底层，图案层可替换地盖设在衬底层上，掩模用于供依次穿过图案层和衬底层的外部紫外光对盛放在容器内的光刻材料进行紫外固化，使图案层上的图案形成在光刻材料的表面上。本申请通过基板与挡板的协作配合、掩模可插拔地装设在挡板上，以及容器与掩模对应设置，在外部紫外光的照射下，实现对掩模的图案层上的图案于光刻材料表面的形成及调控，结构简洁、使用便利及成本低，具有较高的普适性。
实用新型
CN202321046835.1
2023-04-28
CN220526181U
2024-02-23
G03F7/20(2006.01)
浙江华帅特新材料科技有限公司
屈洁昊;刘向东;殷根华;殷胜炯;朱红琴;许王杰;陈江凯
314311 浙江省嘉兴市海盐县沈荡镇永庆东路
上海波拓知识产权代理有限公司
张媛
浙江;33
1.一种光刻掩模的应用工装，其特征在于，包括基板、挡板、掩模以及容器，所述挡板插设在所述基板上，所述掩模可插拔地设置在所述挡板上，所述容器设置在所述基板上并与所述掩模对应设置，所述容器用于盛放光刻材料，所述掩模包括图案层以及衬底层，所述图案层可替换地盖设在所述衬底层上，所述掩模用于供依次穿过所述图案层和所述衬底层的外部紫外光对盛放在所述容器内的光刻材料进行紫外固化，使所述图案层上的图案形成在所述光刻材料的表面上。 2.根据权利要求1所述的应用工装，其特征在于，所述基板上开设有置位孔，所述容器设置在所述置位孔内。 3.根据权利要求2所述的应用工装，其特征在于，所述挡板设有对接部，所述基板间隔所述置位孔开设有贯穿槽，所述对接部可拆卸地设置在所述贯穿槽内。 4.根据权利要求3所述的应用工装，其特征在于，所述挡板在所述对接部的端部向内凹陷形成抵顶部，所述抵顶部用于在所述对接部设置在所述贯穿槽内时与所述基板抵接。 5.根据权利要求2所述的应用工装，其特征在于，所述挡板设有两个，所述基板在所述置位孔的两侧对称开设有两个贯穿槽，两个所述挡板的对接部分别可拆卸地设置在两个所述贯穿槽内。 6.根据权利要求5所述的应用工装，其特征在于，两个所述挡板与所述衬底层形成用于盖设所述图案层的图案区域。 7.根据权利要求6所述的应用工装，其特征在于，所述图案区域的面积大于所述置位孔的面积。 8.根据权利要求6所述的应用工装，其特征在于，所述挡板开设有卡接槽，所述卡接槽与所述基板平行设置，用于供所述掩模插入，使所述掩模平行于所述基板地卡接在所述挡板上。 9.根据权利要求8所述的应用工装，其特征在于，所述挡板沿高度方向还设有与所述卡接槽间隔的供外部紫外设备放置的置位部。 10.一种紫外设备，其特征在于，包括紫外灯具以及如权利要求1至9任意一项所述的光刻掩模的应用工装，所述紫外设备间隔设置在所述应用工装的一侧，所述紫外灯具所发出的紫外光照射在所述掩模上进而依次穿过所述图案层和所述衬底层，并对盛放在所述容器内的光刻材料进行紫外固化，以使所述图案层上的图案形成在所述光刻材料的表面上。