一种光刻机相机位置调节机构
本实用新型提供一种光刻机相机位置调节机构，包括：外壳、相机、侧板和连块，所述外壳中端设置有相机，所述相机两侧对称固定安装有连块，所述连块侧面固定安装有侧板，相对于传统的相机位置调节装置，本设备在使用时可以对相机自身的位置和角度进行灵活的调整和变动，让相机自身的检测效果更加精确、稳定，保证设备运行时的准确性和稳定性，且不再需要对设备停机检修和调整，大大的加快了整体的工作效率，保证了设备自身的工作质量，还可以对相机进行快速的安装和加固，方便后续根据实际使用情况来对相机进行拆卸或者维护，使得设备自身的维护更加便捷，提高了整体的工作质量。
实用新型
CN202323193599.9
2023-11-26
CN221378483U
2024-07-18
G03F7/20(2006.01)
杭州芯微影半导体有限公司
胡德立
310000 浙江省杭州市钱塘区河庄街道青西二路1099号综合楼602-117号
盐城亭远专利代理事务所(普通合伙)
王威钦
浙江;33
1.一种光刻机相机位置调节机构，其特征在于，包括：外壳（1）、相机（2）、侧板（3）和连块（4），所述外壳（1）中端设置有相机（2），所述相机（2）两侧对称固定安装有连块（4），所述连块（4）侧面固定安装有侧板（3），所述外壳（1）内壁对称固定安装有移动装置（5），所述移动装置（5）包括地块（51）、丝杆（52）、导杆（53）和移动端（54），所述外壳（1）内壁对称固定安装有地块（51），所述地块（51）内部转动安装有丝杆（52），所述地块（51）内部固定安装有导杆（53），所述丝杆（52）外部螺纹啮合安装有移动端（54），所述移动端（54）与导杆（53）滑动连接，所述移动端（54）与侧板（3）固定连接，所述侧板（3）内部固定安装有转动装置（6），所述连块（4）内部固定安装有加固装置（7）。 2.根据权利要求1所述的光刻机相机位置调节机构，其特征在于，所述地块（51）内部位于移动端（54）侧面开设有凹槽。 3.根据权利要求1所述的光刻机相机位置调节机构，其特征在于，所述移动装置（5）还包括第一电机（55），所述地块（51）侧面固定安装有第一电机（55），所述第一电机（55）输出端与丝杆（52）底端固定连接。 4.根据权利要求3所述的光刻机相机位置调节机构，其特征在于，所述第一电机（55）外部安装有保护壳体。 5.根据权利要求1所述的光刻机相机位置调节机构，其特征在于，所述转动装置（6）包括转杆（61）、蜗轮（62）、蜗杆（63）、连杆（64）和第二电机（65），所述侧板（3）内部转动安装有转杆（61），所述转杆（61）与连块（4）固定连接，所述转杆（61）外部固定安装有蜗轮（62），所述侧板（3）内部转动安装有连杆（64），所述连杆（64）端部固定安装有蜗杆（63），所述蜗杆（63）与蜗轮（62）啮合连接，所述侧板（3）底端固定安装有第二电机（65），所述第二电机（65）输出端与连杆（64）固定连接。 6.根据权利要求5所述的光刻机相机位置调节机构，其特征在于，所述转杆（61）与连杆（64）位置呈错位垂直关系。 7.根据权利要求1所述的光刻机相机位置调节机构，其特征在于，所述加固装置（7）包括滑槽（71）、滑块（72）、螺纹槽（73）和螺纹杆（74），所述连块（4）内部开设有滑槽（71），所述相机（2）两侧对称固定安装有滑块（72），所述滑块（72）与滑槽（71）滑动连接，所述滑块（72）与连块（4）内部共同开设有螺纹槽（73），所述螺纹槽（73）内部螺纹安装有螺纹杆（74）。 8.根据权利要求7所述的光刻机相机位置调节机构，其特征在于，所述螺纹杆（74）端部固定安装有转动块。