一种光刻机用晶圆片匀胶装置
本实用新型公开了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，涉及晶圆片光刻技术领域，包括箱体，所述箱体的顶部转动连接有盖板，所述盖板的底部固定安装有卡块，且卡块插入到箱体的内部并与其转动连接，所述盖板的内部转动连接有转盘，所述转盘的底部两侧固定安装有刮板，且刮板与箱体转动连接，两个所述刮板穿过盖板的底部并与其转动连接，所述转盘顶部的中央位置固定安装有转手，且转手穿过盖板并与其转动连接，本实用新型的有益效果为：通过在箱体顶部卡接的盖板，并转动转手使指针与辅助板位于同一水平线上，使两个刮板分别对第一槽体和第二槽体处进行阻挡，使在匀胶作业时装置呈封闭状，尽可能防止光刻胶甩落位置的不可控，提高光刻胶的清理效率。
实用新型
CN202321924801.8
2023-07-20
CN220290026U
2024-01-02
G03F7/16(2006.01)
上海讯颖电子科技有限公司
孙晓东;闻杰
200000 上海市奉贤区南桥镇八字桥路1919号2幢8层
北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙)
李劼
上海;31
1.一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部转动连接有盖板(4)，所述盖板(4)的底部固定安装有卡块(18)，且卡块(18)插入到箱体(1)的内部并与其转动连接，所述盖板(4)的内部转动连接有转盘(7)，所述转盘(7)的底部两侧固定安装有刮板(8)，且刮板(8)与箱体(1)转动连接，两个所述刮板(8)穿过盖板(4)的底部并与其转动连接，所述转盘(7)顶部的中央位置固定安装有转手(6)，且转手(6)穿过盖板(4)并与其转动连接，所述转手(6)的外侧固定安装有指针。 2.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述箱体(1)内壁的底部转动连接有基座(15)，所述箱体(1)的内部固定安装有第二伺服电机(16)，且第二伺服电机(16)的输出端与基座(15)固定连接，所述基座(15)的顶部开设有凹槽(10)，所述凹槽(10)的内部且插入到基座(15)的内部转动连接有双向丝杆(11)，所述凹槽(10)的内部固定安装有第一伺服电机(9)，且第一伺服电机(9)的输出端与双向丝杆(11)固定连接，所述双向丝杆(11)的外侧螺纹连接有两个固定块(12)，且固定块(12)与凹槽(10)滑动连接，两个所述固定块(12)的顶部均固定安装有弧形夹板(13)，所述弧形夹板(13)与基座(15)滑动连接。 3.根据权利要求2所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：两个所述弧形夹板(13)相互远离的一侧均螺纹连接有两个固定螺栓(19)，两个所述弧形夹板(13)相互靠近的一侧均设置有橡胶垫(14)，且橡胶垫(14)与固定螺栓(19)螺纹连接，所述弧形夹板(13)和橡胶垫(14)通过固定螺栓(19)固定连接，所述箱体(1)的内部固定安装有限位杆(17)，所述限位杆(17)插入到基座(15)的内部并与其转动连接。 4.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述箱体(1)的内部两侧开设有第一槽体(21)和第二槽体(22)，所述第一槽体(21)和第二槽体(22)的内部两侧均设置有通风板(24)，所述第一槽体(21)内部两侧的通风板(24)与其固定连接，所述第二槽体(22)靠近第一槽体(21)的其中一个通风板(24)与第二槽体(22)固定连接，另一个所述通风板(24)通过转轴与第二槽体(22)转动连接，所述第一槽体(21)的两侧内壁之间且位于两个通风板(24)之间固定安装有贯流风机(25)，所述第二槽体(22)的内部滑动连接有活性炭板(23)，所述箱体(1)和通过转轴转动连接的通风板(24)外侧设置有相互配合的卡扣(26)。 5.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述盖板(4)的顶部镶嵌有辅助板(5)。 6.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述箱体(1)的一侧镶嵌有控制器(3)，所述控制器(3)与第一伺服电机(9)、第二伺服电机(16)和贯流风机(25)电性连接，所述箱体(1)的外侧且位于控制器(3)相对应一侧设置有透明视窗，所述箱体(1)的一侧且位于透明视窗的下方镶嵌有水平仪(20)，所述箱体(1)的底部固定安装有防滑垫(2)。