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10.16257/j.cnki.1681-1070.2023.0136

基于立体视觉的IGBT针高检测

引用
针对现有绝缘栅双极晶体管(IGBT)的pin针高度测量系统不能稳定、可靠地测量pin针高度的问题,设计了一套基于双线激光传感器的pin针高度测量系统.双线激光传感器采用上下错高的安装布局,分别采集IGBT针尖部分和底面部分的点云数据.同时,基于双线激光传感器采集的点云数据开发了一套测量pin针高度的测量程序.分别使用随机抽样一致性(RANSAC)算法处理基准面点集的离群点,使用多步去噪算法处理精确点集.实验结果表明,该系统的测量重复度小于0.04mm,且极差分布在(0.021 mm,0.039 mm)的概率超过99.7%,有着良好的稳定性和可靠性.

双线激光传感器、分区域点云采集、平面拟合去噪、针高度测量、立体视觉

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TN307(半导体技术)

2023-11-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

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1681-1070

32-1709/TN

23

2023,23(10)

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