141.一种光刻机的晶圆承载吸附压力优化方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-08-10申请人：上海华力微电子有限公司
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142.一种光刻照明系统
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-05-18申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
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144.一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统
实用新型 有权
分类号: G03F7/16(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-06-22申请人：北京京东方显示技术有限公司 京东方科技集团股份有限公司
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145.一种光刻胶图案的形成方法
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-02-03申请人：北京中科紫鑫科技有限责任公司
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146.一种光刻胶涂布及回收装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/16(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-07-20申请人：四川虹视显示技术有限公司
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147.一种光刻胶清洗剂及清洗方法
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-02-03申请人：北京中科紫鑫科技有限责任公司
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148.一种光刻胶清洗液
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-05-11申请人：安集微电子科技（上海）有限公司
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149.一种光刻胶清洗液
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-04-27申请人：安集微电子科技（上海）有限公司
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150.一种光刻胶清洗组合物
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-02-03申请人：北京中科紫鑫科技有限责任公司
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151.一种光刻胶组合物及其制备方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/027(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-02-03申请人：北京中科紫鑫科技有限责任公司
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152.一种光刻胶组合物和形成光刻图案的方法
发明专利 无权
分类号: G03F7/004(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-02-03申请人：北京中科紫鑫科技有限责任公司
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153.一种光刻装置
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2016-05-04申请人：佛山市国星半导体技术有限公司
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154.一种光圈控制装置
实用新型 有权
分类号: G03B9/02(2006.01)I G G03 G03B G03B9 申请日期：2016-10-05申请人：东莞市维斗科技股份有限公司
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155.一种光圈的控制方法及装置
发明专利 有权
分类号: G03B7/08(2014.01)I G G03 G03B G03B7 申请日期：2016-01-13申请人：浙江大华技术股份有限公司
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156.一种光学变焦的手机高清摄像头
实用新型 无权
分类号: G03B13/34(2006.01)I G G03 G03B G03B13 申请日期：2016-08-17申请人：东莞市利本光电有限公司
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157.一种光学成像芯片冷却装置及包括该冷却装置的投影仪
实用新型 有权
分类号: G03B21/16(2006.01)I G G03 G03B G03B21 申请日期：2016-08-17申请人：杭州虹视科技有限公司
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159.一种光学数码相机
发明专利 无权
分类号: G03B42/02(2006.01)I G G03 G03B G03B42 申请日期：2016-01-27申请人：西安司坤电子科技有限公司
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160.一种光学窗口
实用新型 有权
分类号: G03B17/12(2006.01)I G G03 G03B G03B17 申请日期：2016-07-27申请人：北京嘉贺恒德科技有限责任公司
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