101.一种光刻机自动调焦方法及装置
发明专利 有权
分类号: G03F7/027(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-02-09申请人：华中科技大学
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102.一种光刻版
发明专利 有权
分类号: G03F1/00(2006.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2011-06-08申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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103.一种光刻版
实用新型 无权
分类号: G03F1/14(2006.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2011-08-24申请人：黑龙江八达通用微电子有限公司
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104.一种光刻版及其实现方法
发明专利 无权
分类号: G03F1/14(2006.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2011-06-08申请人：黑龙江八达通用微电子有限公司
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105.一种光刻系统中实时控制照明剂量的装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-11-23申请人：上海微电子装备有限公司
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106.一种光刻胶三维刻蚀过程模拟的改进快速推进方法
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-07-13申请人：东南大学
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107.一种光刻胶剥离液
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-04-13申请人：东莞市智高化学原料有限公司
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108.一种光刻胶清洗剂
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-02-09申请人：安集微电子(上海)有限公司
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109.一种光刻胶清洗剂
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-07-06申请人：安集微电子(上海)有限公司
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110.一种光刻胶清洗剂
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-07-06申请人：安集微电子(上海)有限公司
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111.一种光刻胶清洗剂组合物
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-07-06申请人：安集微电子(上海)有限公司
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112.一种光刻胶清洗剂组合物
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-07-06申请人：安集微电子(上海)有限公司
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113.一种光刻胶清洗剂组合物
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-10-26申请人：安集微电子(上海)有限公司
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114.一种光刻胶清洗剂组合物
发明专利 无权
分类号: G03F7/42(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-10-26申请人：安集微电子(上海)有限公司
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115.一种光刻胶烘焙装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/38(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期：2011-12-07申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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117.一种光学成像装置
实用新型 无权
分类号: G03B17/12(2006.01)I G G03 G03B G03B17 申请日期：2011-02-09申请人：海德星科技(厦门)有限公司
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118.一种光学立体成像装置及立体摄像方法
发明专利 有权
分类号: G03B35/10(2006.01)I G G03 G03B G03B35 申请日期：2011-01-05申请人：深圳市掌网立体时代视讯技术有限公司
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119.一种光学立体放映装置、系统及立体放映方法
发明专利 无权
分类号: G03B35/26(2006.01)I G G03 G03B G03B35 申请日期：2011-01-12申请人：深圳市掌网立体时代视讯技术有限公司
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120.一种光学邻近修正方法
发明专利 有权
分类号: G03F1/14(2006.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期：2011-07-06申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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