81.一种便携的数码相机近拍照明灯
实用新型 无权
分类号: G03B15/05(2006.01)I G G03 G03B G03B15 申请日期:2011-01-26申请人:天津三星光电子有限公司
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82.一种偏心轴焦面调焦机构
发明专利 无权
分类号: G03B13/36(2006.01)I G G03 G03B G03B13 申请日期:2011-05-25申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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83.一种儿童放映机
发明专利 无权
分类号: G03B21/14(2006.01)I G G03 G03B G03B21 申请日期:2011-04-20申请人:杭州亿开工业产品设计有限公司 隋海燕
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84.一种充电效果优良的激光束打印机处理盒
实用新型 无权
分类号: G03G21/18(2006.01)I G G03 G03G G03G21 申请日期:2011-10-05申请人:佛山市艾申特精密配件有限公司
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85.一种光刻技术中实现对准偏差测量的装置和方法
发明专利 有权
分类号: G03F1/00(2006.01)I G G03 G03F G03F1 申请日期:2011-06-29申请人:北大方正集团有限公司 深圳方正微电子有限公司
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87.一种光刻机NA-Sigma配置的优化方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-12-21申请人:北京理工大学
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88.一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-12-28申请人:中国科学院光电技术研究所
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89.一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及测量方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-09-28申请人:上海微电子装备有限公司
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90.一种光刻机投影物镜像面在线测量标记及测量方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-09-28申请人:上海微电子装备有限公司
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91.一种光刻机投影物镜微调平机构
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-08-03申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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92.一种光刻机投影物镜波像差现场测量方法
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-07-20申请人:上海微电子装备有限公司
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93.一种光刻机投影物镜镜头的装调装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-12-14申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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94.一种光刻机机中的输片双稳态水平锁紧装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-12-14申请人:中国科学院光电技术研究所
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95.一种光刻机气动自动对焦装置及对焦方法
发明专利 无权
分类号: G03F7/207(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-11-02申请人:合肥芯硕半导体有限公司
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96.一种光刻机照明系统相干因子的优化方法
发明专利 在审
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-11-23申请人:北京理工大学
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97.一种光刻机的调平系统
发明专利 无权
分类号: G03F9/00(2006.01)I G G03 G03F G03F9 申请日期:2011-04-13申请人:中国科学院光电技术研究所
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98.一种光刻机真空曝光装置
发明专利 无权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-04-13申请人:中国科学院光电技术研究所
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99.一种光刻机硅片台双台交换系统
发明专利 有权
分类号: G03F7/20(2006.01)I G G03 G03F G03F7 申请日期:2011-09-21申请人:上海微电子装备有限公司
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