21.Z偏移和不垂直照射产生的掩膜物体的Y移位中的位置校正
发明专利 有权
分类号: G03F7/20 G G03 G03F G03F7 申请日期：2005-02-02申请人：ASML荷兰有限公司
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24.一种偏振光瞳器件及其在投影光刻系统中的应用
发明专利 无权
分类号: G03F7/20 G G03 G03F G03F7 申请日期：2005-09-07申请人：中国科学院光电技术研究所
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32.一种具有180度旋转复印功能的复印设备及其方法
发明专利 无权
分类号: G03G15/00 G G03 G03G G03G15 申请日期：2005-04-13申请人：三星电子株式会社
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34.一种分色页面描述灰度光栅化的方法
发明专利 有权
分类号: G03F3/00 G G03 G03F G03F3 申请日期：2005-06-01申请人：北京北大方正电子有限公司 北京大学
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35.一种判别室内50Hz/60Hz光照环境的装置
发明专利 在审
分类号: G03B7/08 G G03 G03B G03B7 申请日期：2005-11-16申请人：北京中星微电子有限公司
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36.一种判别室内50Hz或60Hz光照环境的方法
发明专利 在审
分类号: G03B7/08 G G03 G03B G03B7 申请日期：2005-11-16申请人：北京中星微电子有限公司
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40.一种动态帧率条件下的自动曝光装置
实用新型 有权
分类号: G03B7/093 G G03 G03B G03B7 申请日期：2005-04-20申请人：北京中星微电子有限公司
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