用于将汽相产品输送到使用地点的系统及方法

摘要：

将汽相产品输送到使用地点的系统和方法以及新颖的化学品就地分配系统和方法。用于输送汽相产品的系统包括：一容纳处于其蒸汽压力下的液体化学品的存储容器；一连接用于容纳来自存储容器的液化状态的化学品的塔，其中该化学品被分离成含杂质的重的液体部分和被净化的轻的蒸汽部分；和一导管，它连接到塔上，用于从其中排出被净化的轻的蒸汽部分。该系统与使用地点连接，用于将被净化的蒸汽部分输送到该处。本发明尤其适用于在半导体制造中将电子特种气体输送到一个或多个半导体加工设备。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN99107620.6

申请日期：1999-04-07

公开/公告号：CN1243214

公开/公告日：2000-02-02

主分类号：F17D1/04

申请/专利权人:液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司

发明/设计人:J·E·帕加尼斯; B·J·朱西克; R·尤迪施斯; H-C·王; K·横木; S·富田

主申请人地址:法国巴黎

专利代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人:郭建新

国别省市代码:法国;FR

权利要求：

1．一种用于将汽相产品输送到使用地点的系统，该系统包括：一存储容器，容纳处于其蒸汽压力下的液体化学品；连接的一塔，用于容纳来自存储容器的液化状态的化学品，其中该化学品被分离为含杂质的重的液体部分和被净化的轻的蒸汽部分；和一导管，连接到塔上，该导管用于将净化的轻的蒸汽部分从塔中分离出来；其中该系统被连接到使用地点，以将净化的蒸汽部分输送到使用地点。