含缩聚物的光刻胶组合物

摘要：

一种包括成膜树脂、光活性组合物以及溶剂的光刻胶组合物。成膜树脂是由酚衍生物和取代的二苯醚缩合得到的。此光刻胶还可以含碱溶性的成膜树脂，如酚醛清漆树脂。本发明的光刻胶改进了光刻胶图象的拍摄速度、分辨率和热稳定性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN98811345.7

申请日期：1998-11-10

公开/公告号：CN1279777

公开/公告日：2001-01-10

主分类号：G03F7/023

申请/专利权人:克拉里安特国际有限公司

发明/设计人:S·F·瓦奈特;K·H·詹森;卢炳宏;D·S·麦肯基

主申请人地址:瑞士穆腾茨

专利代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人:陈季壮

国别省市代码:瑞士;CH

权利要求：

权利要求书1．光刻胶组合物，包括下面成分：a)新聚合物，此聚合物是由结构(1)的取代的二苯醚与结构(2)的酚进行酸催化反应的产物，其中R1—R9相互无关地为H、OH、卤素、(C1—C4)烷基、(C1—C4)烷氧基、芳基或芳烷基，m＝1—5，n＝1—4，b)光活性化合物，以及c)光刻胶溶剂组合物。