使可变负载阻抗与RF能量发生器阻抗相匹配的方法和装置

摘要：

一种用来使一负载的可变阻抗与一射频（RF）能量发生器的固定阻抗相匹配以提供最大能量输送的方法和装置。该阻抗匹配网络还使一RF能量发生器能改变施加到一负载如一等离子体腔上的电压频率，该等离子体腔可用于一半导体或平板等离子体显示装置生产过程中。该阻抗匹配网络还利用固定的固态元件来调整所带负载的阻抗，以便在发生器与负载之间提供最大的能量输送。一并联开关电容器受一电气开关装置如PIN二极管的控制，以使固定电容器开通或关断。把一用来改变外加电压的装置用来在几毫秒的时间内使负载的阻抗与RF能量发生器的阻抗相匹配。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN97197019.X

申请日期：1997-06-11

公开/公告号：CN1227678

公开/公告日：1999-09-01

主分类号：H03H7/40

申请/专利权人:射频功率产品公司

发明/设计人:A·马弗雷蒂; A·西斯泽克; J·施塔赫

主申请人地址:美国新泽西州

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司

代理人:邹光新% 陈景峻

国别省市代码:美国;US

权利要求：

1． 一种将一射频能量发生器（RFPG）耦合到一负载上的阻抗匹配网络，包括：一相位检测器，耦合到所述RFPG上，所述相位检测器检测所述RFPG所供电压和电流中的相移；一幅值检测器，耦合到所述RFPG上，所述幅值检测器检测所述负载阻抗的幅值；第一电容，并联耦合到所述负载上；一电感，与所述负载串联耦合；第二电容，与所述负载串联耦合；一开关电路，耦合到所述幅值检测器上，用来根据所述幅值检测器所检测到的所述负载的所述阻抗的所述幅值，将所述第一电容耦合到所述地或从所述地上与地解耦。