化学增强的抗蚀组合物

摘要：

在化学增强抗蚀剂中使用了共聚物和三元共聚物。该三元共聚物具有右通式（Ⅱ），其中R₃、R_４、R_５、R_６、ｍ和ｎ的定义如说明书中所述；同时还有一用于化学增强的抗蚀剂的抗蚀组合物，它含有一光敏酸发生剂和一具有上通式（Ⅲ）的聚合物，其中ｘ、R_７、R_８、ｍ和ｎ的定义如说明书中所述。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN97122568.0

申请日期：1997-10-11

公开/公告号：CN1181520

公开/公告日：1998-05-13

主分类号：G03F7/00

申请/专利权人:三星电子株式会社

发明/设计人:姜律; 崔相俊; 郑东垣; 朴春根; 高永范

主申请人地址:韩国京畿道

专利代理机构:柳沈知识产权律师事务所

代理人:黄益芬

国别省市代码:韩国;KR

权利要求：

一种用于化学增强抗蚀剂的共聚物，该共聚物具有通式：＊＊＊其中Ｒ↓［１］选自氢和Ｃ↓［１］至Ｃ↓［１０］脂族烃基，该脂族烃基含有选自氢，羟基，羧基，酸酐和它们组合的取代基。Ｒ↓［２］选自氢和Ｃ↓［１］至Ｃ↓［１０］脂族烃基，该脂族烃基含有选自氢，羟基，羧基，酸酐和它们组合的取代基。ｎ代表整数；该共聚物的重均分子量为约３０００至约１０００００。