一种基于线阵型CCD的二维位置测量装置

摘要：

本发明属于位置传感器设计技术领域，其特征在于包括共轴设置的主球面镜、球面镜和分光棱镜，在所说的分光棱镜分出的两条互相垂直的光轴线上分别设置两个柱面镜及两个线阵型ＣＣＤ器件，两个柱面镜的圆柱轴线互相垂直，主球面镜与球面镜之间的距离等于主球面镜的像距与球面镜的焦距之和。还包括ＣＣＤ驱动电路、ＣＣＤ信号处理电路以及对该信号处理电路输出信号进行计算、显示结果的计算机。具有结构简单、价格低、精度高等优点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN97116457.6

申请日期：1997-09-19

公开/公告号：CN1182221

公开/公告日：1998-05-20

主分类号：G03B13/20

申请/专利权人:清华大学

发明/设计人:尤政; 董斌; 杨韧; 刘兴占

主申请人地址:100084北京市海淀区清华园

专利代理机构:清华大学专利事务所

代理人:廖元秋

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种基于线阵型ＣＣＤ的二维位置测量装置，其特征在于包括共轴设置的主球面镜、球面镜和分光棱镜，在所说的分光棱镜分出的两条相互相垂直的光轴线上分别设置两个柱面镜及两个线阵型ＣＣＤ器件，所说的两个柱面镜的圆柱轴线互相垂直，所说的主球面镜与球面镜之间的距离等于主球面镜的像距与球面镜的焦距之和，还包括ＣＣＤ驱动电路、ＣＣＤ信号处理电路以及对该信号处理电路输出信号进行计算、显示结果的计算机。