一种定位周期配置的亚微米物体的自动化和非可见方法

摘要：

一种利用扫描工具对周期地配置相同物体的一阵列中的特定小物体（小至亚微米）进行定位的方法，该方法包括，扫描该阵列，以用于产生对应于该阵列中所包含的这些物体的大量脉冲，然后，计数该大量脉冲，以便定位该阵列中的该特定物体。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN97109583.3

申请日期：1997-03-29

公开/公告号：CN1165323

公开/公告日：1997-11-19

主分类号：G03F9/00

申请/专利权人:国际商业机器公司

发明/设计人:雷纳·韦兰

主申请人地址:德国慕尼黑

专利代理机构:柳沈知识产权律师事务所

代理人:孙履平

国别省市代码:德国;DE

权利要求：

一种用于对周期地配置亚微米物体的阵列中的特定亚微米物体进行定位的方法，其利用扫描工具以线性图形方式操作，所述方法包括的步骤有：扫描该阵列，用于产生对应于在该阵列中包含的亚微米物体的大量脉冲；和计数所述大量脉冲，以便定位在该阵列中的该特定物体。