一种夹板式X光光刻对准装置
一种夹板式Ｘ光光刻对准装置，涉及到由装配有Ｘ光光刻掩模的上基板，放置固定被加工基片的下基板，以及连结环三个主要部分组成的装置；利用该装置在常规光刻机上将掩模图形与基片图形对准并控制它们之间距离，通过把装置固定成一体来固定图形相对位置，再把装置送到Ｘ光光刻束线中曝光，实现器件制作中的图形对准Ｘ光光刻。
实用新型
CN95201234.0
1995-01-23
CN2268944
1997-11-26
G03F9/00
中国科学院微电子中心
高士平; 王保强; 程秀玲
100010北京市东城区大取灯胡同2号
北京(11)
一个。1、多功能数控自动弯管机，其动力系统由电机（1）和该压传动部分组成，其特征在于，该实用新型包括：A、数控自动弯管装置：由数字控制系统、液压传动和弯管装置构成；弯管装置；包括摆动马达（3）和与摆动马达旋转轴固定联结的旋转臂（30），旋转臂（30）远离轴心的一端为箱式结构，内置一夹紧液压位（6），夹紧液压缸（6）的活塞杆作用于夹紧块（5）；旋转臂（30）的旋转轴向上伸出一段为安装弯管模（4）的柱销（34） ，所说的弯管模、（4）是带有因弧部分的块状体，圆弧部分的曲率率半径决定了被加工管（31）弯曲成形后的弯曲半径；弯管模（4）还有v形或直角形缺口（36），手动夹紧手柄（33） 下端的偏心夹紧块（35）刚好卡入其中，可以使弯管模相对于旋转臂固定；上述夹紧块（5）和弯管模（4）分置于被加工，管的两侧，夹紧液压缸（6）工作时，夹紧块（5）施力将彼加工管（31）夹紧，形成一个稳固的施力面；旋转臂的旋转带动被夹紧的被加工管绕弯管模弯曲；另有一导向平衡滑块（32），与弯管模相对置于被加工管、的外侧，用以承受被加工管弯曲时产生的反弹力；被加工管（31）的弯曲角度由旋转臂（30）的行程即摆动马达（3）的摆幅决定，由数字控制系统控制；所说的数字控制系统包括角度设定装置、角度检测装置，信号放大器、模数转换器和数字显示器，可以将设定欲加工的角厦和实际加工角度转化为电信号，通过模数转换后用数字显示，并通过一放大电路将上述两信号进行比较放大，制摆动马达的摆幅；摆动马达（3）的油口接有一液控单向阀（24），可以保证工作完毕的摆动马达回油，从而使旋转臂（30）自动复位；B、被加工管切断装置：包括液压夹紧、锯切和冷却三部分，波压夹紧由液压缸（20）和与其活塞杆固定联结的夹紧块（19）实现，锯切时，被加工管置于一横梁和夹紧块（19）之间，横梁固定，而夹紧块（19）在波压缸（20）的作用下可以作上下移动，从而实现对被加工管的夹紧或释放；锯切使用圆盘形刀片（16），其转动由液压马达（17）驱动，安装刀片的刀架（15）与液压位（14）的活塞杆联结，液压缸工作时带动刀片作进给或退刀运动；锯切采用液体循环冷却；c，铣被加工管端部内外坡口或去端部内外毛刺装置：使用内坡口铣刀（12）和外坡口铣刀（11）可以分别完成铣内外坡口或去端部内外毛刺工艺；内坡口铣刀（12）的刀头部为一锥体，其表面呈放射状均匀分布若干刀刃；外坡口铣刀（11）的刀头部为带有锥形孔的圆柱体，锥形孔的内表面呈放射状均匀分布有若干刀刃；上述内外坡口铣刀的刀柄端为有棱柱体或扁圆形，可以插装于联结头（37）的相应形状的安装孔内，并有紧固螺栓锁紧；联结头（37）的另一端与液压马达（13）的旋转轴固定联结；D、扩缩孔、拆边或卡套顶装装置：使用扩孔刀具（8）和缩孔刀具（9）可以完成扩孔或编孔工艺；扩孔刀具（8）带有呈呈锥体状的头部，可以在液压缸的作用下顶入被加工管的端部，实现扩孔，更换不同直径的刀具或控制刀具的头都是带有圆锥形孔的圆柱体，将被加工管的端部插入该锥形孔内，在液压缸的作用下施以顶压，使其端部孔径缩小、在缩孔刀具内放置卡套，可以将其顶装于被加工管的端部；上述刀具通过联结头（38）与液压缸（7）或液压缸（10）联结；上述四种装置可以独立运行，由多路操纵阀（23）控制。