一种光学微孔板的制作方法
本发明公开了一种光学微孔板的微孔制作方法,属光学技术领域。其采用易腐蚀和耐腐蚀两种玻璃丝,按微通道板的制作方法进行排丝、熔压、拉丝、切片和研磨,排丝时应将易腐蚀玻璃丝排在其微孔相应的位置,将研磨好的玻璃片用10—20%的盐酸溶液腐蚀,把玻片中易腐蚀的玻璃丝芯腐蚀成微孔。该光学微孔板的制孔方法解决了传统制备微孔孔径大,形状不规则,微孔间距无法保证的缺陷。所制作的光学微孔板可广泛应用于光学仪器的成像系统中,特别是X射线光学领域中的应用。
发明专利
CN95113620.8
1995-12-26
CN1151023
1997-06-04
G02B6/00
中国科学院西安光学精密机械研究所
常增虎; 山冰; 刘秀琴
710068陕西省西安市友谊西路234号
中国科学院西安专利事务所
任越% 顾伯勋
陕西;61
一种光学微孔板的制作方法,其特征在于,选用易腐蚀和耐腐蚀两种玻璃丝,并要求两种玻璃的膨胀系数应相近、扩散度尽量小,及易腐蚀玻璃的粘度较大;按微通道板的制板方法进行排丝、熔压、拉丝、切片和研磨,排丝时应将易腐蚀玻璃丝排在其相应的位置;把研磨好的玻璃片置于10-20%的盐酸溶液中腐蚀,至易腐蚀玻璃完全溶解形成微孔,用清水冲洗、脱水烘干。