制造网板印刷模板的方法和设备
在网板印刷模板制造过程中,具有光敏层的中空圆筒绕它的圆筒轴转动,并通过激光束曝光。激光束沿圆筒轴方向移动,并且按期望的模板图案通、断。从多个中空圆筒的周边位置中的至少一个测量位置确定中空圆筒壁的实际位置距它的理想位置的径向偏差。然后,从在测量位置得到的至少一个径向位置偏差导出一个第一驱动信号。模板图案按照第一驱动信号在中空圆筒的周边方向上移动,从而补偿了中空圆筒壁距其理想位置的切向偏差。
发明专利
CN95104778.7
1995-04-26
CN1115877
1996-01-31
G03F7/12
库夫施泰因模板技术股份公司
西格弗里德·吕克尔; 哈拉尔德·卡普芬格尔
奥地利库夫施泰因
永新专利商标代理有限公司
邵伟
奥地利;AT
一种制造网板即刷模板的方法,其特征在于,包括:使外表面上具有光敏层的薄壁中空圆筒曝光,所说曝光包括:在绕圆筒轴转动所说圆筒时将一个激光束入射到所说圆筒上;向所说光敏层聚焦所说激光束;沿所说圆筒轴移动所说聚焦;按照期望的模板图案通、断所说激光束;相对于所说激光束至少固定一个测量位置;从所说至少一个测量位置对于多个所说圆筒的周边位置确定所说圆筒壁的实际位置距一个理想位置的径向偏差(△Sens.1(k));从在所说至少一个测量位置得到的所说径向偏差导出一个第一驱动信号(△topt<k+Nr>);以及按照所说第一驱动信号沿圆筒的周边方向移动所说模板图案,借此补偿了所说壁距所说理想位置的切向偏差。