缺陷控制近红外敏感非晶硅光敏层的液晶光阀

摘要：

一种缺陷控制近红外敏感非晶硅光敏层的液晶光阀，在光学玻璃基板上镀有厚度为３００～２０００Ａ，电阻为２０００～２０Ω/囗，对可见光及近红外光透过率分别达到９０％和８０～８５％的ＩＴＯ导电膜；在ＩＴＯ导电膜上镀有光波长敏感范围在０．４～２．０μｍ，可见光及近红外光波段范围光／暗电导比分别达到１０^２～１０³及１０的ａ－Ｓｉ∶Ｈ光敏层。由于采用ａ－Ｓｉ∶Ｈ作为近红外光光敏材料，使光敏层制备大为简化，光阀的分辨率、对比度提高，拓宽了ａ－Ｓｉ∶Ｈ液晶光阀对光波波长的敏感范围，可同时用于可见光和近红外光写入。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN94209097.7

申请日期：1994-04-22

公开/公告号：CN2189321

公开/公告日：1995-02-08

主分类号：G02F1/1333

申请/专利权人:浙江大学

发明/设计人:杜丕一; 韩高荣; 丁子上

主申请人地址:310027浙江省杭州市玉古路20号

专利代理机构:浙江大学专利代理事务所

代理人:林怀禹

国别省市代码:浙江(33)

权利要求：

缺陷控制近红外敏感非晶硅光敏层的液晶光阀，它包括：光学玻璃基板［１］、［１０］，ＩＴＯ导电膜［２］、［９］，光敏层［３］，阻光层［４］，介质反射层［５］，液晶定向层［６］、［８］，液晶层［７］，本实用新型的特征是：１）在光学玻璃基板［１］、［１０］上，镀有厚度为３００～２０００Ａ，电阻为２０００～２０Ω／囗，可见光透过率达到９０％、近红外光透过率达到８０％的ＩＴＯ导电膜［２］、［９］；２）在ＩＴＯ导电膜［２］、［９］上，镀有光波长敏感范围在０．４～２．０μｍ，在可见光波段范围其光／暗电导比为１０↑［２］～１０↑［３］，光吸收系数为１０↑［５］ｃｍ↑［－１］，在近红外光波段范围其光／暗电导比为１０，光吸收系数为１０↑［４］～１０↑［８］ｃｍ↑［－１］的对可见光和近红外光同时敏感的ａ－Ｓｉ∶Ｈ光敏层［３］。