固态摄像装置及其制造方法

摘要：

在形成ＣＣＤ的基片上的保护膜上面形成有透明填塞层和透明平坦膜层，使该保护膜表面平坦。在透明平坦膜层上面形成红、蓝、黄色的彩色滤光片。该彩色滤光片由合成感光性材料形成。由此可高精度地形成形状良好的彩色滤光片，又在分光特性上，可实现所有的彩色滤光片均匀。由此可得到优异特性的图像，而无因闪光性能、遮蔽性能及粉尘等不良情况引起的图像不良。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN94101238.7

申请日期：1994-01-28

公开/公告号：CN1106142

公开/公告日：1995-08-02

主分类号：G02B5/20

申请/专利权人:松下电子工业株式会社

发明/设计人:下村幸司; 佐野义和

主申请人地址:日本大阪府

专利代理机构:上海专利商标事务所

代理人:刘立平

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种固态摄像装置，其特征在于，所述的固态摄像装置具备：在至少由光敏部和输送部形成的半导体基片上的透明的填塞层及透明平坦膜层，和在上述透明的平坦膜层的上面的、由合成感光性材料形成的彩色滤光片。