光束成型光学元件及包括所述元件的辐射源装置和扫描装置

摘要：

一种用于把具有椭圆形截面的一光束（５，６，７，８）转换成具有圆形截面的一光束（９）的光束成型元件（１０），该元件（１０）有一个柱面的入射表面（１２）和一个超环面的出射表面（１３），且该元件被安置靠近二极管激光器（１），因此由离焦引起波阵面误差的风险减小。该元件具有高耦合效率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN93121621.4

申请日期：1993-12-31

公开/公告号：CN1091525

公开/公告日：1994-08-31

主分类号：G02F1/00

申请/专利权人:菲利浦电子有限公司

发明/设计人:Ｊ·Ｊ·Ｍ·布拉特

主申请人地址:荷兰艾恩德霍芬

专利代理机构:中国专利代理(香港)有限公司

代理人:吴增勇% 肖掬昌

国别省市代码:荷兰;NL

权利要求：

一种光束成形的光学元件，具有一个入射表面，一个位于其对面的出射表面和一个与三轴ＸＹＺ直角坐标系中Ｚ轴一致的光轴，该元件用于把具有光束在坐标系中ＹＺ平面上的第一个角孔径与该光束在ＸＺ平面上的第二个较小角孔径之间的第一个比值的光束转换成具有所述两角孔径之间的第二个较小比值的光束，所述元件在所述两平面内实现不同的角度放大，其特征在于入射表面在中心具备一基本上柱面的部分，其园柱轴与Ｙ轴平行，该入射表面在ＹＺ平面上造成一个约为ｎ↓［１］／ｎ↓［２］的角度缩小率，在ＸＺ平面上造成一个约为ｎ↓［２］／ｎ↓［１］的角度放大率，其中ｎ↓［１］，ｎ↓［２］分别为元件材料和周围介质的折射率，其特征在于出射表面为一个超环面，该超环面在ＸＺ平面上的曲率半径大于它在ＹＺ平面上的曲率半径。