共轭等光程纵向扫描器

摘要：

本发明的光学扫描器是一种共轭等光程纵向扫描器，它主要特征是两分光镜之间置有可以沿光轴方向往复运动，实现焦点在轴向扫描的过程。两反射镜Ｍ、Ｎ之间有一确定的焦点，达到被测样品固定不动的目的。具有输出光和输入光之间的光程差在扫描过程中保持恒定的特点，所以它有使用方便、测量精度高的优点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN91107491.0

申请日期：1991-09-19

公开/公告号：CN1070742

公开/公告日：1993-04-07

主分类号：G02B26/10

申请/专利权人:中国科学院上海光学精密机械研究所

发明/设计人:钱秋明; 陈秋水; 赵建明; 王之江

主申请人地址:201800上海市800-211

专利代理机构:中国科学院上海专利事务所

代理人:李兰英% 张泽纯

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种共轭等光程纵向扫描器，含有作为光源的激光器、分光镜、反射镜、透镜、探测器和显示装置，其特征在于从激光器入射的光束经分光镜G后，透射光经透镜A，被平行平面镜的前表面全部反射后由原光路返回，再经分光镜G反射到透镜C上，从透镜C透射的光束按反射镜M反射后会聚一焦点10上，发散后被反射镜N反射，通过透镜D后透射到分光镜H上，被分光镜H反射返回到分光镜H上，从分光镜H透射的光束射进带有显示装置的光电探测器上。