大孔径显微投影物镜光学糸统

摘要：

本发明涉及一种大孔径显微物镜光学系统，该系统由二组镜片以及它们之间的光阑组成，前组镜片为三片，后组镜片为四片，前后组中负镜采用ＺＦ₇玻璃，前组和后组中的其它镜片采用ＬａＫ₂和ＬａＫ₆玻璃材料制成，各镜片是单片分离设置，在前组与后组镜片之间有一个光阑。整个系统紧凑，加工精度要求一般，适用性强，能用于作为印刷制版机的通用扫描物镜。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN88109146.4

申请日期：1988-10-13

公开/公告号：CN1041827

公开/公告日：1990-05-02

主分类号：G02B9/64

申请/专利权人:北京科学仪器厂

发明/设计人:杨士策

主申请人地址:北京市安定门外外馆斜街1号

专利代理机构:北京市第三专利代理事务所

代理人:陆菊华% 母宗绪

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种大孔径显微投影物镜光学系统，它由二组镜片组成，前组为三片，后组为四片，其特征是前组焦距ｆ＇＝２．０３９，后组焦距ｆ＇＝０．６６１。　　其中：前组三片的焦距分别为：　　ｆ↓［１］＝２．０００，ｆ↓［２］＝－２．１４４，ｆ↓［３］＝２．１８２　　后组四片的焦距分别为ｆ↓［４］＝１．４２０，ｆ↓［５］＝－０．８６３，ｆ↓［６］＝０．９４４，ｆ↓［７］＝１．０４５．　　前后组中负镜采用高折射率ＺＦ↓［７］玻璃，前组其它二片，后组其它三片分别采用Ｌａｋ↓［２］和Ｌａｋ↓［６］玻璃材料，所述系统的各镜片是单片分离的其ｆ↓［１］到ｆ↓［７］镜片设置的次序是“＋－＋＋－＋＋”排列，在前组与后组透镜组之间有一个光阑。