一种光掩模去胶装置及方法
本发明公开了一种光掩模去胶装置及方法，包括：工作箱，内部限定出工作腔；两个夹爪气缸，相对设于工作腔的左右两侧；旋转组件，用于驱动两个夹爪气缸同步转动；喷液组件，包括喷液盒、输液装置、喷头，喷液盒转动设于两个夹爪气缸之间的上侧，喷液盒的转动轴线前后分布，输液装置用于向喷液盒内输送去胶液，多个喷头均设于喷液盒，用于将喷液盒内的去胶液喷出至光掩模的表面；其中，喷液盒转动过程中至少具有第一位置、第二位置和第三位置，在第一位置下，喷头竖直朝下，在第二位置下，喷头倾斜朝向光掩模的左侧边缘，在第三位置下，喷头倾斜朝向光掩模的右侧边缘。本发明能够十分便捷地对光掩模的两个表面进行去胶，并能充分去胶。
发明专利
CN202410628483.3
2024-05-20
CN118444524A
2024-08-05
G03F1/82(2012.01)
长沙韶光芯材科技有限公司
李弋舟;段聪;钟选飞
410000 湖南省长沙市中国湖南自由贸易试验区长沙片区长沙经开区区块东六路南段90号未来智汇园11栋501
广州嘉权专利商标事务所有限公司
黄全发
湖南;43
1.一种光掩模去胶装置，其特征在于，包括： 工作箱(100)，内部限定出工作腔(101)； 两个夹爪气缸(200)，相对设于所述工作腔(101)的左右两侧，分别用于夹持光掩模(300)长度方向的两端； 旋转组件(400)，用于驱动两个所述夹爪气缸(200)同步转动，两个所述夹爪气缸(200)的转动轴线共线且左右分布； 喷液组件(500)，包括喷液盒(510)、输液装置、喷头(520)，所述喷液盒(510)转动设于两个所述夹爪气缸(200)之间的上侧，所述喷液盒(510)的转动轴线前后分布，所述输液装置用于向所述喷液盒(510)内输送去胶液，多个所述喷头(520)均设于所述喷液盒(510)且前后均匀排布，用于将所述喷液盒(510)内的去胶液喷出至所述光掩模(300)的表面； 其中，所述喷液盒(510)转动过程中至少具有第一位置、第二位置和第三位置，在所述第一位置下，所述喷头(520)竖直朝下，在所述第二位置下，所述喷头(520)倾斜朝向所述光掩模(300)的左侧边缘，在所述第三位置下，所述喷头(520)倾斜朝向所述光掩模(300)的右侧边缘。 2.根据权利要求1所述的光掩模去胶装置，其特征在于：所述夹爪气缸(200)被配置为：当所述喷液盒(510)由所述第一位置转动至所述第二位置时，位于左侧的所述夹爪气缸(200)松开所述光掩模(300)，且位于右侧的所述夹爪气缸(200)夹持所述光掩模(300)，当所述喷液盒(510)由所述第一位置转动至所述第三位置时，位于右侧的所述夹爪气缸(200)松开所述光掩模(300)，且位于左侧的所述夹爪气缸(200)夹持所述光掩模(300)。 3.根据权利要求2所述的光掩模去胶装置，其特征在于：还包括支撑机构(600)，所述支撑机构(600)设于两个所述夹爪气缸(200)之间的下侧，所述支撑机构(600)包括支撑件(610)和第一伸缩气缸(620)，所述第一伸缩气缸(620)与所述支撑件(610)连接并能驱动所述支撑件(610)升降，所述支撑件(610)用于在所述光掩模(300)保持水平时支撑所述光掩模(300)。 4.根据权利要求3所述的光掩模去胶装置，其特征在于：所述支撑件(610)设置为筒状结构，所述支撑件(610)内限定出下端开口的容纳腔，所述第一伸缩气缸(620)位于所述容纳腔内。 5.根据权利要求3所述的光掩模去胶装置，其特征在于：所述支撑件(610)顶端设有加热件(630)，用于在所述支撑件(610)支撑所述光掩模(300)时对所述光掩模(300)进行加热。 6.根据权利要求1所述的光掩模去胶装置，其特征在于：还包括转动设于所述工作箱(100)左右两侧的两个安装部(110)，两个安装部(110)分别用于固定两个所述夹爪气缸(200)，所述旋转组件(400)包括电机(410)、同步轴(420)，所述同步轴(420)转动设于所述工作箱(100)，所述电机(410)与所述同步轴(420)连接以驱动所述同步轴(420)转动，所述同步轴(420)与两个所述安装部(110)之间均连接有传动结构，以带动两个所述安装部(110)同步转动。 7.根据权利要求6所述的光掩模去胶装置，其特征在于：所述安装部(110)部分伸出至所述工作箱(100)外侧并固定有从动轮(120)，所述同步轴(420)位于所述工作箱(100)外侧，所述同步轴(420)两端分别固定设有主动轮(430)，所述传动结构设置为传动带(440)，所述传动带(440)连接所述主动轮(430)与所述从动轮(120)。 8.根据权利要求1所述的光掩模去胶装置，其特征在于：所述喷液盒(510)前后两端均设有前后分布的安装轴(511)，所述安装轴(511)转动设于所述工作箱(100)，所述喷液组件(500)还包括第二伸缩气缸(530)，所述第二伸缩气缸(530)的固定端与所述工作箱(100)铰接，所述第二伸缩气缸(530)的输出端与所述喷液盒(510)铰接，以用于驱动所述喷液盒(510)转动。 9.根据权利要求1所述的光掩模去胶装置，其特征在于：所述工作箱(100)前侧设有上料口，所述上料口处转动设有箱门。 10.一种光掩模去胶方法，基于权利要求3所述的光掩模去胶装置，其特征在于，包括如下步骤： S1、将待处理的光掩模(300)夹持于两个夹爪气缸(200)之间并使光掩模(300)水平，同时令支撑件(610)上升以支撑光掩模(300)； S2、将喷液盒(510)转动至第一位置，启动输液装置向喷液盒(510)内输送去胶液，使去胶液从喷头(520)喷出至光掩模(300)表面，同时令左侧的夹爪气缸(200)松开光掩模(300)，然后转动喷液盒(510)使喷液盒(510)在第一位置与第二位置之间来回转动设定次数，并最后停留在第一位置； S3、令左侧的夹爪气缸(200)夹持光掩模(300)，并令右侧的夹爪气缸(200)松开光掩模(300)，然后转动喷液盒(510)使喷液盒(510)在第一位置与第三位置之间来回转动设定次数，并最后停留在第一位置； S4、令输液装置停止工作，令支撑件(610)下降设定距离，令两个夹爪气缸(200)同时夹持光掩模(300)，然后利用旋转组件(400)驱动两个夹爪气缸(200)同步旋转半圈以翻转光掩模(300)，之后令支撑件(610)再次上升以支撑光掩模(300)； S5、重复一次步骤S2、S3，然后令两个夹爪气缸(200)松开光掩模(300)，并令支撑件(610)复位至初始位置，最后取下光掩模(300)。