一种炉管及控制方法
本发明公开了一种炉管及控制方法，包括外炉管、内炉管、上炉盖、下炉门、加热源和旋转装置；外炉管内安装所述内炉管，上炉盖与下炉门分别安装在所述外炉管与所述内炉管的上端与下端，所述内炉管与所述外炉管之间的容纳空间的上下两端密闭形成密闭腔室，且所述内炉管与所述外炉管上设有用于加热密闭腔室的加热源，旋转装置对应密闭腔室设置多个载具放置位，旋转装置旋转时带动所述载具放置位上的载具在所述密闭腔室内调整位置和角度。本发明炉管内的载具放置在可以转动的舟托底座上，当密闭腔室内通入反应气体或者升温温度有差异时，载具在炉内调整位置和角度可以使密闭腔室内部的气场和热场均匀，从而提高整体的工艺良率。
发明专利
CN202410450746.6
2024-04-14
CN118423990A
2024-08-01
F27B17/00(2006.01)
常州捷佳创精密机械有限公司
易炜;邓金生;李操政;李美诗;谭惊电
213133 江苏省常州市新北区黄河西路790号
深圳市康弘知识产权代理有限公司
尹望
江苏;32
1.一种炉管，其特征在于，包括外炉管、内炉管、下炉门、加热源和旋转装置；所述外炉管内安装所述内炉管，所述下炉门安装在所述外炉管与所述内炉管的下端，所述内炉管与所述外炉管之间的容纳空间的上下两端密闭形成密闭腔室，且所述内炉管与所述外炉管上设有用于加热密闭腔室的加热源，所述旋转装置对应密闭腔室设置多个载具放置位，所述旋转装置旋转时带动所述载具放置位上的载具在所述密闭腔室内调整位置和角度。 2.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述内炉管的上下两端开口，其上端开口处设有用于吊装连接的连接件，下端开口处设置支撑台面。 3.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述下炉门的中部设有中心孔，所述下炉门外还设有位于中心孔处的磁流体组件；所述磁流体组件分别与所述下炉门内边缘和内炉管底部的支撑底座密封连接，所述磁流体组件位于下炉门和内炉管底部的支撑底座密封连接之间的位置设有连接所述旋转装置的传动轴。 4.如权利要求3所述的炉管，其特征在于，所述旋转装置包括：设置在炉管的所述密闭腔室并带有多个载具放置位的舟托底座，所述舟托底座连接磁流体密封组件的传动轴；位于密闭腔室外连接所述传动轴带动所述舟托底座旋转的旋转动力源。 5.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述旋转装置的多个载具放置位环绕所述内炉管排布，并且沿高度方向排布多层。 6.如权利要求4所述的炉管，其特征在于，所述舟托底座包括： 旋转底座，所述旋转底座位于所述密闭腔室的底部； 挂放板，设置在所述旋转底座上，所述挂放板上设有多个可挂放所述载具的所述载具放置位。 7.如权利要求6所述的炉管，其特征在于，所述旋转底座上设有隔热罩，所述挂放板的底部穿过所述隔热罩并竖直向上延伸，所述隔热罩内安装水冷组件。 8.如权利要求4所述的炉管，其特征在于，所述舟托底座包括： 旋转底座，所述旋转底座具有多个供载具舟穿过或者放置的所述载具放置位； 多对承载件，每一对承载件位于一个载具放置位的两侧边缘，并可折叠地设置在旋转底座上； 所述承载件切换为折叠状态时，载具能够从底部向上穿过所述承载件对应的载具放置位；所述承载件切换为展开状态时，所述载具可放置在所述承载件上。 9.如权利要求2所述的炉管，其特征在于，所述炉管的上端安装上炉盖，所述上炉盖中部设有中心孔，所述上炉盖的中心孔可贯穿所述内炉管的上端，或者贯穿连接内炉管上端的吊装件。 10.如权利要求9所述的炉管，其特征在于，所述上炉盖远离所述容纳空间的外端面向外凸出形成球状凸起，所述上炉盖环绕中心孔的四周内部设置空腔，所述空腔内设有多块连接在空腔上下内壁之间的加强筋。 11.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述下炉门开设有多个贯穿所述下炉门的炉口，所述炉口的尺寸以及形状与载具的侧面的尺寸以及形状相匹配，每个所述炉口均对应设有炉盖，每个所述炉口均对应设有炉盖，所述炉盖连接有驱动结构，所述驱动结构用于带动所述炉盖相对所述炉口打开或闭合。 12.如权利要求11所述的炉管，其特征在于，所述炉盖和/或下炉门为向下凸出的球状凸起结构。 13.如权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述内炉管的内侧设有内加热源，所述外炉管的外侧设有外加热源，所述内加热源分成多组独立的加热段，且所述外加热源与所述内加热源的周边对应设有散热装置。 14.如权利要求13所述的炉管，其特征在于，所述散热装置为水冷散热装置或者风冷散热装置，所述外炉管、上炉盖以及下炉门上设有接通所述水冷散热装置的水冷接头。 15.一种炉管控制方法，其特征在于，使用权利要求1至14任意一项所述的炉管，包括步骤： 打开所述下炉门； 将载具送至旋转装置的载具放置位； 关闭下炉门进行抽真空，调整密闭腔室的反应环境； 控制旋转装置带动所述载具放置位上的载具在所述密闭腔室内调整位置和角度。 16.如权利要求15所述的炉管，其特征在于，所述调整密闭腔室的反应环境具体包括：开启加热源将所述密闭腔室加热到预设温度，当所述密闭腔室达到预设温度后向密闭腔室内通入反应气体。 17.如权利要求15所述的炉管，其特征在于，控制旋转装置带动所述载具放置位上的载具在所述密闭腔室内调整位置和角度具体包括： 带动所述载具放置位上的载具环绕所述内炉管旋转，并根据预设旋转逻辑调整旋转方向、以及各个旋转方向的旋转时长。