一种气相沉积炉炉体的快速降温结构
本实用新型公开了一种气相沉积炉炉体的快速降温结构，包括内部空心的外壳，所述外壳顶壁贯穿固定连接有反应炉，所述反应炉相对一侧的侧壁均固定连接有三个加热结构，所述外壳内侧壁滑动连接有两个滑动块，两个所述滑动块与对应的加热结构滑动连接，两个所述滑动块侧壁均开设有三个第一贯穿孔，所述外壳贯穿固定连接有两个通风管，两个所述通风管侧壁均开设有三个第二贯穿孔。本实用新型一种气相沉积炉炉体的快速降温结构直接将原本的装置内部自然冷却改为通过与外界环境换热进行冷却，大幅度降低了冷却时间提高生产效率，直接通过调整对滤芯的夹持装置的调整达到快速更换滤芯的效果，省去了大量更换工具的麻烦，提高了整体操作效率。
实用新型
CN202323099109.9
2023-11-15
CN221349741U
2024-07-15
F27D9/00(2006.01)
山东孚日鸿硅新材料科技有限公司
王磊;肖茂昌;刘永久;李彬;孙旭科;夏然强
261000 山东省潍坊市高密市朝阳街道朝阳大街东首588号
合肥初云专利代理事务所(普通合伙)
贾飞
山东;37
1.一种气相沉积炉炉体的快速降温结构，包括内部空心的外壳(1)，其特征在于，所述外壳(1)顶壁贯穿固定连接有反应炉(3)，所述反应炉(3)相对一侧的侧壁均固定连接有三个加热结构(7)，所述外壳(1)内侧壁滑动连接有两个滑动块(6)，两个所述滑动块(6)与对应的加热结构(7)滑动连接，两个所述滑动块(6)侧壁均开设有三个第一贯穿孔(15)，所述外壳(1)贯穿固定连接有两个通风管(8)，两个所述通风管(8)侧壁均开设有三个第二贯穿孔(21)，两个所述滑动块(6)与对应的通风管(8)滑动连接，两个所述滑动块(6)共同固定连接有连接架(16)，所述连接架(16)与外壳(1)内侧壁滑动连接。 2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉炉体的快速降温结构，其特征在于，所述外壳(1)内侧壁固定连接有两个第二安装块(12)，两个所述第二安装块(12)均为截面为开口朝下的凹字形结构，两个所述第二安装块(12)内侧壁均滑动连接有第二滑动板(18)、第三滑动板(19)，两个所述第三滑动板(19)与对应的第二安装块(12)内顶壁之间固定连接有弹簧(20)，两个所述第二滑动板(18)下表面固定连接有第二连接杆(14)，两个所述第二连接杆(14)远离第二滑动板(18)的一端与对应的滑动块(6)固定连接。 3.根据权利要求2所述的一种气相沉积炉炉体的快速降温结构，其特征在于，两个所述通风管(8)顶壁贯穿固定连接有固定块(9)，两个所述固定块(9)上表面固定连接有第一连接杆(10)，两个所述第一连接杆(10)远离对应的固定块(9)的一端固定连接有第一滑动板(17)，所述外壳(1)内侧壁固定连接有第一安装块(11)，所述第一安装块(11)内侧壁与第一滑动板(17)滑动连接。 4.根据权利要求3所述的一种气相沉积炉炉体的快速降温结构，其特征在于，所述外壳(1)顶壁通过轴承贯穿转动连接有螺纹杆(5)，所述螺纹杆(5)与滑动块(6)螺纹连接，所述外壳(1)上表面通过支架固定连接有电机(4)，所述电机(4)输出端与螺纹杆(5)位于外壳(1)外部的一端固定连接。 5.根据权利要求4所述的一种气相沉积炉炉体的快速降温结构，其特征在于，两个所述第二安装块(12)侧壁均贯穿固定连接有连通管(13)，两个所述连通管(13)远离对应的第二安装块(12)的一端与对应的第一安装块(11)贯穿固定连接。 6.根据权利要求5所述的一种气相沉积炉炉体的快速降温结构，其特征在于，所述反应炉(3)上表面通过销轴转动连接有盖板(2)，两个所述第二滑动板(18)与对应的第二安装块(12)的滑动连接处、两个所述第一滑动板(17)与对应的第一安装块(11)的滑动连接处均胶合有密封胶垫。