一种低温液态硅烷的气化装置

摘要：

本实用新型公开了一种低温液态硅烷的气化装置，包括低温泵、相变器、及升温器。本实用新型通过设置相变器及与之串联的升温器，得到一种结构简单、气化效率高、安全性好的低温液态硅烷的气化装置；液态硅烷在相变器内吸热气化，气化后的气态硅烷流至升温器内恒压升温至‑3.4℃以上后进行充装，通过限压阀使输送到隔膜压缩机内的硅烷气体气压高于外界大气压，减少了后续充装过程的能耗；整套装置气密性良好，气化过程安全可靠。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202322308513.6

申请日期：2023-08-28

公开/公告号：CN220523870U

公开/公告日：2024-02-23

主分类号：F17C7/04(2006.01)

申请/专利权人:艾佩科(上海)气体有限公司

发明/设计人:徐学强;鲍坚仁;刘璧

主申请人地址:201107 上海市闵行区纪翟路1199弄12栋5楼

专利代理机构:苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

代理人:陆金星

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种低温液态硅烷的气化装置，其特征在于，包括： 低温泵；所述低温泵设置于装有液态硅烷的低温储罐上且通过管道与所述低温泵连通； 相变器；所述相变器具有液相入口和气相出口，所述液相入口通过管道与所述低温泵连通； 升温器；所述升温器具有低温气相入口与产品出口，所述低温气相入口与所述气相出口连通，所述产品出口通过管道与隔膜压缩机连通，所述产品出口处设有限压阀； 其中，液态硅烷在所述低温泵作用下从所述低温储罐内通过管道流至所述相变器内吸热气化，气化后的气态硅烷流至所述升温器内恒压升温至-3.4℃以上后，从所述产品出口流出。 2.如权利要求1所述的低温液态硅烷的气化装置，其特征在于，所述相变器及所述升温器均为套管式换热器，两个所述套管式换热器串联，硅烷在所述相变器及所述升温器的管程内流动，热流体在所述相变器及所述升温器的壳程内流动。 3.如权利要求2所述的低温液态硅烷的气化装置，其特征在于，所述相变器设有4～8组套管，所述升温器设有1～3组套管，多组所述套管相互串联形成蛇形套管结构。 4.如权利要求2所述的低温液态硅烷的气化装置，其特征在于，所述升温器上设有热流体入口，所述相变器上设有热流体出口，所述热流体通过所述热流体入口流入，在所述升温器及所述相变器内与硅烷逆向流动，并通过所述热流体出口流出。 5.如权利要求2所述的低温液态硅烷的气化装置，其特征在于，所述热流体为水。 6.如权利要求2所述的低温液态硅烷的气化装置，其特征在于，所述套管式换热器的壳程内径与管程内径的比值为2.0～4.0:0.8～1.2。 7.如权利要求4所述的低温液态硅烷的气化装置，其特征在于，所述热流体入口处设有流量调节阀，所述产品出口处设有温度计。 8.如权利要求2所述的低温液态硅烷的气化装置，其特征在于，所述相变器及所述升温器的材质为低温碳钢、低温镍钢、低温奥氏体不锈钢、低温铝合金中的任意一种。