一种MEMS谐振器
本实用新型提供一种MEMS谐振器，所述MEMS谐振器包括至少两个谐振体以及连接谐振体的耦合梁，在锚点与耦合梁之间设置多级软连接结构并将锚点固定在衬底上以通过锚点支撑整个MEMS谐振器，将锚点通过柔性软连接结构引出至谐振器的外部，从而能够降低MEMS谐振器与支撑锚点之间的能量传输损耗，即降低MEMS谐振器的锚点损耗，提高MEMS谐振器的品质因数(Q值)，同时使得MEMS谐振器的能量损失在变小的同时又能够更加稳定，此外通过在耦合梁上设置的第一孔以及在第二连接梁上设置的第二孔结构，可以缓解应力引起的锚点损耗，从而进一步提高MEMS谐振器的品质因数(Q值)。
实用新型
CN202322290557.0
2023-08-24
CN220553997U
2024-03-01
H03H9/205(2006.01)
麦斯塔微电子(深圳)有限公司
雷永庆;金怡;王宏宇
518000 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园1栋401
上海光华专利事务所(普通合伙)
李仪萍
广东;44
1.一种MEMS谐振器，其特征在于，所述MEMS谐振器包括： 谐振体，所述谐振体的数量至少为两个，所述谐振体用于产生谐振； 耦合梁，所述耦合梁的两端分别与所述谐振体连接； 软连接结构，所述软连接结构至少包括第一连接梁和第二连接梁，其中，所述第一连接梁与所述耦合梁连接，且所述第一连接梁与所述第二连接梁连接； 锚点，所述锚点与所述第二连接梁连接，且所述锚点位于衬底上以通过所述锚点支撑MEMS谐振器。 2.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述谐振体的数量可以为偶数或奇数，且所述谐振体以所述耦合梁的交叉点为中心呈均匀环绕分布。 3.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述谐振体形状结构包括圆环、多边形环中的一种或多种。 4.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述谐振体的振动模态为WG模态、Lame模态和Wine glass模态中的一种。 5.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述软连接结构的数量等于所述谐振体的数量。 6.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述第一连接梁为“工”字形，所述第一连接梁的其中两个角点与所述耦合梁连接，所述第一连接梁的另外两个角点与所述第二连接梁连接。 7.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述耦合梁上设有第一孔结构，且所述第一孔结构关于所述耦合梁的交叉点对称分布。 8.根据权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述第二连接梁上还设有第二孔结构，且所述第二孔结构关于所述耦合梁的交叉点对称分布。 9.根据权利要求1～8任意一项所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述第一连接梁和所述第二连接梁均为柔性连接梁。 10.根据权利要求9所述的MEMS谐振器，其特征在于：所述谐振体还包括有至少一个驱动电极和至少一个感测电极，其中，所述至少一个驱动电极和至少一个感测电极相对设置于所述谐振体的两侧。