一种卧式真空退火炉
本实用新型涉及真空退火技术领域，具体涉及一种卧式真空退火炉。本实用新型提供了一种卧式真空退火炉，包括：炉体，为两个，分别为第一炉体和第二炉体；加热模块，为两个，分别设置在两个炉体内，适于对炉体进行加热；温度检测模块，为两个，分别设置在两个炉体内，适于对炉体内的温度进行检测；抽真空模块，分别与两个炉体连通，适于对炉体进行抽真空；真空度检测模块，适于对炉体内的真空度进行检测；控制器，分别与加热模块、温度检测模块、抽真空模块以及真空度检测模块电连接；当第一炉体进行降温时，所述控制器控制加热模块、温度检测模块、抽真空模块以及真空度检测模块对第二炉体进行工作。
实用新型
CN202322231012.2
2023-08-18
CN220398216U
2024-01-26
F27B19/04(2006.01)
河北圣昊光电科技有限公司
苗惠霞;宋会兵;闫英华;魏鑫选;冯秋生;范华强
050000 河北省石家庄市高新区裕华东路453号创新大厦23楼A3
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
向森
河北;13
1.一种卧式真空退火炉，其特征在于，包括： 炉体(10)，为两个，分别为第一炉体(11)和第二炉体(12)； 加热模块(20)，为两个，分别设置在两个炉体(10)内，适于对炉体(10)进行加热； 温度检测模块，为两个，分别设置在两个炉体(10)内，适于对炉体(10)内的温度进行检测； 抽真空模块(30)，分别与两个炉体(10)连通，适于对炉体(10)进行抽真空； 真空度检测模块(60)，适于对炉体(10)内的真空度进行检测； 控制器，分别与加热模块(20)、温度检测模块、抽真空模块(30)以及真空度检测模块(60)电连接； 当第一炉体(11)进行降温时，所述控制器控制加热模块(20)、温度检测模块、抽真空模块(30)以及真空度检测模块(60)对第二炉体(12)进行工作。 2.根据权利要求1所述的卧式真空退火炉，其特征在于，所述抽真空模块(30)与第一炉体(11)之间设置有第一电磁阀(40)，所述抽真空模块(30)与第二炉体(12)之间设置有第二电磁阀(50)； 所述抽真空模块(30)对第一炉体(11)进行抽真空时，控制器控制第一电磁阀(40)打开，控制第二电磁阀(50)关闭； 所述抽真空模块(30)对第二炉体(12)进行抽真空时，控制器控制第二电磁阀(50)打开，控制第一电磁阀(40)关闭。 3.根据权利要求1所述的卧式真空退火炉，其特征在于，所述加热模块(20)包括： 炉体加热棒(21)，设置在炉体(10)内壁上，所述炉体(10)上半部的内壁为上区，所述炉体(10)下半部的内壁为下区，所述炉体加热棒(21)分别设置在上区和下区内并且沿炉体(10)的长度方向延伸； 炉体变压器，为两个，分别与上区和下区的炉体加热棒(21)电连接，适于对炉体加热棒(21)进行供电； 炉门加热棒(22)，为两个，分别设置在两个炉门(13)上； 炉门变压器，为两个，分别与设置在两个炉门(13)上的炉门加热棒(22)电连接，适于对炉门加热棒(22)进行供电； 所述炉体加热棒(21)和炉门加热棒(22)均为S形结构； 所述控制器控制炉体变压器对炉体加热棒(21)进行加热，所述控制器控制炉门变压器对炉门加热棒(22)进行加热。 4.根据权利要求3所述的卧式真空退火炉，其特征在于，所述温度检测模块包括： 双芯热电偶，为四个，设置在炉体(10)的上区、下区以及两个炉门(13)上； 所述双芯热电偶适于分别采集炉体(10)的上区、下区以及两个炉门(13)处的温度信号，并分别将温度信号发送给控制器，所述控制器基于预设温度和各个温度信号分别对位于上区和下区的炉体变压器以及位于两个炉门(13)处的炉门变压器进行调控； 所述控制器还适于对双芯热电偶的温度信号进行记录。 5.根据权利要求2所述的卧式真空退火炉，其特征在于，所述抽真空模块(30)包括分子泵(31)和机械泵(32)，所述分子泵(31)和机械泵(32)连通，所述分子泵(31)通过三通管(33)分别与第一炉体(11)和第二炉体(12)连通，所述第一电磁阀(40)位于分子泵(31)和第一炉体(11)之间，所述第二电磁阀(50)位于分子泵(31)和第二炉体(12)之间； 第一电磁阀(40)打开，第二电磁阀(50)关闭时，分子泵(31)和机械泵(32)适于对第一炉体(11)进行抽真空；第二电磁阀(50)打开，第一电磁阀(40)关闭时，分子泵(31)和机械泵(32)适于对第二炉体(12)进行抽真空。 6.根据权利要求5所述的卧式真空退火炉，其特征在于，所述真空度检测模块(60)包括： 电阻真空计(61)，设置在三通管(33)上，适于检测三通管(33)内的真空度； 电离真空计(62)，为两个，分别设置在两个炉体(10)上，适于检测炉体(10)内的真空度； 所述电阻真空计(61)和电离真空计(62)分别与控制器电连接，所述炉体(10)内为一个标准大气压时，控制器控制机械泵(32)打开，对炉体(10)进行抽真空，直至三通管(33)内的真空度达到预设中间真空度，控制器再同时打开机械泵(32)和分子泵(31)，直至体内的真空度达到预设真空度； 所述控制器基于炉体(10)内的真空度和预设真空度对分子泵(31)进行调控。 7.根据权利要求2所述的卧式真空退火炉，其特征在于，所述第一电磁阀(40)和第二电磁阀(50)均为气动挡板阀。