一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统
本申请提供了一种多晶硅尾气热量的回收装置、回收系统，涉及多晶硅生产设备领域，多晶硅尾气热量的回收装置包括换热件、压缩件与冷凝组件，所述换热件连接氢气输出端与氢气还原端，所述压缩件连接尾气输出端与所述换热件，以将所述尾气输出端输出的尾气加热压缩后输送至所述换热件中进行换热冷却，所述冷凝组件包括：第一冷凝件与第二冷凝件，所述第一冷凝件与所述换热件连接，以将所述换热件中输出的尾气输送至所述第一冷凝件中进行换热冷却，所述第二冷凝件与所述第一冷凝件连接，以将所述第一冷凝件中输出的尾气输送至所述第二冷凝件中进行换热冷却，将尾气进行气气换热后再进行冷凝换热，能更充分利用尾气中的热量，减少了能源的浪费。
实用新型
CN202322146361.4
2023-08-09
CN220489764U
2024-02-13
F27D17/00(2006.01)
甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
康斌;郭可可;王永斌;周辉山;宋伟斌;李殿喜
736100 甘肃省酒泉市瓜州县北大桥现代高载能产业园
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
王闯
甘肃;62
1.一种多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，包括： 换热件，所述换热件连接氢气输出端与氢气还原端； 压缩件，所述压缩件连接尾气输出端与所述换热件，以将所述尾气输出端输出的尾气加热压缩后输送至所述换热件中进行换热冷却； 冷凝组件，所述冷凝组件包括：第一冷凝件与第二冷凝件，所述第一冷凝件与所述换热件连接，以将所述换热件中输出的尾气输送至所述第一冷凝件中进行换热冷却，所述第二冷凝件与所述第一冷凝件连接，以将所述第一冷凝件中输出的尾气输送至所述第二冷凝件中进行换热冷却。 2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，所述压缩件上设置有第一入料端与第一出料端，所述第一入料端与所述尾气输出端连接，所述第一出料端与所述换热件连接，所述尾气输出端中的尾气的温度为20℃，压力为0.44Mpa。 3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，所述压缩件与所述换热件之间设置有第一缓冲件，所述第一缓冲件连接所述第一出料端与所述换热件。 4.根据权利要求2所述的多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，所述第一入料端与所述尾气输出端之间设置有第二缓冲件，所述第二缓冲件连接所述尾气输出端与所述第一入料端。 5.根据权利要求3所述的多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，所述换热件上设置有第二入料端与第二出料端，所述第二入料端与所述第一缓冲件连接，所述第二出料端与所述第一冷凝件连接。 6.根据权利要求5所述的多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，第二入料端上设置有第一流量监测件，所述第二入料端中尾气的温度为132℃，压力为1.3Mpa，所述第二出料端中尾气的温度为57℃，压力为1.2Mpa。 7.根据权利要求5所述的多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，所述第一缓冲件与所述第二入料端之间设置有阀门，所述阀门连接所述第一缓冲件与所述第二入料端。 8.根据权利要求1-7中任意一项所述的多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，所述冷凝组件还包括：换热器，所述换热器与所述第二冷凝件连接，以将所述第二冷凝件中输出的尾气输送至所述换热器中进行换热冷却。 9.根据权利要求1-7中任意一项所述的多晶硅尾气热量的回收装置，其特征在于，所述氢气输出端上设置有第二流量监测件，所述氢气输出端中的氢气的温度为25℃，压力为1.2Mpa，所述氢气还原端中的氢气的温度为110℃，压力为1.2Mpa。 10.一种多晶硅尾气热量的回收系统，其特征在于，包括权利要求1-9中任意一项所述的多晶硅尾气热量的回收装置。